激光具有高亮度，高方向性、高單色性和高相干性的特點，這是普通光源所無法比擬的。利用激光的高亮度，經過透鏡聚焦后，能在焦點附近產生上千萬度甚至上萬度的溫度。激光的高方向性使得激光能有效進行長距離傳輸。激光的單色性極高，波長單一，有利于聚焦和波長選擇。
激光清洗就其清洗機理而言，可分為兩大類：一類是利用清潔基片（也稱為母體）與表面附著物（污物）對某一波長激光能量，具有差別很大的吸收系數。輻射到表面的激光能量，大部分被表面附著物所吸收，使之受熱或氣化蒸發、或瞬間膨脹，并被表面形成的蒸氣流帶動脫離物體表面，達到清洗目的。而基片由于對該波長的激光吸收能量極小，不會被損傷。對此類激光清洗，選擇合適的波長和控制好激光能量，是實現安全高效清洗的關鍵。另一類是適用于清潔基片與表面附著物的激光能量吸收系數差別不大，或基片對涂層受熱形成的酸性蒸氣較敏感，或涂層受熱后會產生有毒物質等情況的清洗方法。該類方法通常是利用高功率高重復率的脈沖激光沖擊被清洗的表面，使部分光束轉換成聲波。聲波擊中下層硬表面后，近回的部分與激光產生的入射聲波微小爆炸，涂層被粉碎、壓成粉末，再被真空泵清除，而底下的基片不會損傷。
激光清洗與機械磨擦清洗、化學腐蝕清洗、液體固體強力沖擊清洗，高頻超聲清洗等傳統清洗方法相比，有明顯的優點。它高效、快捷、成本低，對基片產生的熱負荷和機械負荷小，清洗為非損傷；廢物可回收，無環境污染；安全可靠，不損害操作人員健康；多功能，可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層；清潔過程易于實現自動化控制，實現遠距離遙控清洗等。
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