大家都知道，此前有消息傳出，作為我國(guó)目前最大最先進(jìn)的晶圓代工廠，中芯國(guó)際終于收到了來自ASML的光刻機(jī)，而且順利的進(jìn)入了深圳廠區(qū)，有了ASML的光刻機(jī)之后，中芯國(guó)際不僅可以實(shí)現(xiàn)14納米芯片的擴(kuò)大生產(chǎn)，還將開始7納米的生產(chǎn)。
在人們還沒來得及開心，現(xiàn)在又出現(xiàn)了大反轉(zhuǎn)，那就是中芯國(guó)際獲得光刻機(jī)并不是生產(chǎn)7納米工藝芯片所需的EUV芯片，實(shí)際上這臺(tái)機(jī)器應(yīng)該還是193nm波長(zhǎng)的DUV系列光刻機(jī)，根據(jù)中芯國(guó)際發(fā)布的消息來看，這臺(tái)機(jī)器是為了用于現(xiàn)有的生產(chǎn)線來進(jìn)行擴(kuò)容。
因?yàn)槟壳爸行緡?guó)際深圳產(chǎn)區(qū)所提供的產(chǎn)品還是0.35μm到90nm，有了EUV光刻機(jī)的支持后，就可以開始更先進(jìn)工藝的生產(chǎn)了，而且中芯國(guó)際采購EUV光刻機(jī)的主要目的也是對(duì)先進(jìn)工藝進(jìn)行試驗(yàn)和測(cè)試的。
對(duì)于中芯國(guó)際成功獲得ASML光刻機(jī)的消息，外界確實(shí)傳瘋了，但是為了得到更準(zhǔn)確的消息，中芯國(guó)際也對(duì)媒體做出了證實(shí)，這臺(tái)光刻機(jī)只是常規(guī)設(shè)備，不屬于EUV光刻機(jī)，而且EUV對(duì)于中芯國(guó)際，對(duì)于芯片行業(yè)影響力都是比較大的，如果真正的獲得了，中芯國(guó)際是會(huì)主動(dòng)通過官方發(fā)布消息的。
同時(shí)，中芯國(guó)際也表示，沒有EUV的支持，也不會(huì)影響芯片的生產(chǎn)，由于美國(guó)的阻擾，本應(yīng)該在2019年交付的機(jī)器到現(xiàn)在還沒有交付，與其坐等ASML出手，還沒有自己謀求新的道路，現(xiàn)在中芯國(guó)際已經(jīng)采購了美國(guó)泛林公司6億美元設(shè)備，還有美國(guó)應(yīng)用材料、日本東京電子公司高達(dá)77億元的設(shè)備，這將進(jìn)一步的提升14納米工藝芯片的產(chǎn)能。
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