電子特種氣體是真正意義上的高精尖產(chǎn)品，在芯片制造中必不可少，想要做到進(jìn)口替代，必須具備國際一流品質(zhì)。過去，這一市場幾乎被國際廠商壟斷。但就是憑著十幾年的堅持，華特氣體已經(jīng)實現(xiàn)了對國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。尤其值得一提的是，華特氣體通過了全球最大光刻機(jī)生產(chǎn)商荷蘭阿斯麥（ASML）公司的認(rèn)證，成為中國國內(nèi)唯一通過認(rèn)證的氣體公司。
2002年，華特氣體確定了以特種氣體為發(fā)展方向，時至今日，華特氣體的特種氣體主要用于半導(dǎo)體芯片行業(yè)，目前已實現(xiàn)對國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。與國內(nèi)大部分替代性產(chǎn)品主打性價比不同，華特氣體的產(chǎn)品在品質(zhì)上與國際競品完全一致，達(dá)到國際一流水準(zhǔn)。例如，華特氣體的產(chǎn)品已能為臺積電批量供應(yīng)5納米工藝，而國內(nèi)（其他企業(yè)）最先進(jìn)的產(chǎn)品僅能供應(yīng)14納米工藝。傅鑄紅說，經(jīng)歷前期嚴(yán)格的認(rèn)證并通過后，一旦進(jìn)入供應(yīng)鏈體系并開始批量供應(yīng)后，華特氣體與客戶的合作關(guān)系也就趨向穩(wěn)定，“我們現(xiàn)在的競爭對手基本都是國外企業(yè)。”
奮斗19年獲阿斯麥認(rèn)證
光刻是芯片制造最關(guān)鍵的工藝之一，光刻需要由光刻機(jī)來完成，而全球最頂級的光刻機(jī)公司就是荷蘭的阿斯麥。“光刻機(jī)里有一個激光腔，激光腔體內(nèi)要通入稀有的混合氣體，利用稀有氣體電離激發(fā)出一種特定波長和能量的激光。”傅鑄紅說，“光刻機(jī)再使用激光，去除芯片表面的光刻膠涂層，在芯片表面形成線寬為納米級的特定的電路圖案。”因此，這個工序是決定芯片工藝精度的最重要的工序。光刻混合氣是非常復(fù)雜且高精度的產(chǎn)品，一般一種光刻氣中會含有4-5種組分氣體。“用激光來加工芯片表面，需要讓激光波長和能量長時間保持穩(wěn)定，如果氣體純度不夠或配比不精準(zhǔn)，就會導(dǎo)致激光能量時高時低或不持續(xù)。”他解釋，“這必然影響光刻效果。”2017年，華特氣體的光刻混合氣通過阿斯麥認(rèn)證，在這個認(rèn)證名單中，全球僅有四家企業(yè)，華特氣體是中國唯一一家。這個認(rèn)證對華特氣體意義巨大。“進(jìn)入阿斯麥的認(rèn)證，意味著阿斯麥強(qiáng)烈建議它的光刻機(jī)用戶，在使用阿斯麥光刻機(jī)時，要配套使用這四家企業(yè)的光刻氣。否則，若用戶發(fā)現(xiàn)光刻效果不好，阿斯麥不承擔(dān)責(zé)任。”傅鑄紅介紹。
從研發(fā)光刻混合氣，到獲得全球頂級光刻機(jī)企業(yè)的認(rèn)證，華特氣體用了19年時間。“我們從1998年就開始研發(fā)這款氣體，過程非常艱難。”傅鑄紅回憶光刻混合氣的研發(fā)歷程說。特別是有些組分氣體含量非常少，只有幾克甚至零點幾克，要將它們精準(zhǔn)的混合在一起，還要保證氣體在運(yùn)輸和儲存過程中沒有任何變化，這對氣體企業(yè)的技術(shù)要求非常高。當(dāng)年，在幾乎沒有任何專利文獻(xiàn)可以參考的情況下，華特氣體的研發(fā)團(tuán)隊就是憑著毅力，不停試錯和摸索，在積累了幾千組實驗數(shù)據(jù)后，最終研制成功。但很快華特氣體又迎來第二個挑戰(zhàn)：如何讓阿斯麥相信華特氣體？作為一家民營氣體企業(yè)，華特氣體在國際競爭對手面前，體量并不大。2019年，華特氣體營業(yè)收入為8.44億元人民幣。而法液空、林德等國際巨頭氣體企業(yè)，營收都在千億人民幣以上。傅鑄紅回憶，正因如此，阿斯麥在最初的接洽中甚至不愿意測試華特氣體生產(chǎn)的光刻混合氣，“但我們不斷地和他們溝通，通過展示生產(chǎn)過程、品控手段、精準(zhǔn)檢測的技術(shù)等，前后用了近一年的時間，讓阿斯麥相信了我們的專業(yè)能力，最終測試并通過了認(rèn)證。”
抓住危機(jī)下的機(jī)遇、未來將開展海外并購
近幾年，華特氣體保持著每年研發(fā)推出2-3種新氣體的節(jié)奏。現(xiàn)在在研氣體項目13種，其中8寸片氣體10種、12寸片氣體3種，主要涉及光刻、蝕刻、清洗、沉積等環(huán)節(jié)，基本都用于進(jìn)口替代。其中，某氫化物合成研發(fā)項目是為了填補(bǔ)全球技術(shù)空白。憑借過硬的產(chǎn)品，華特氣體的特種氣體已進(jìn)入了英特爾、美光科技、德州儀器、海力士等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系，成為一把不容忽視的中國力量。但是，對標(biāo)法液空、林德等國際巨頭，華特氣體要成為推動中國半導(dǎo)體行業(yè)高端化發(fā)展的“尖刀部隊”，還有較長的路要走。這主要體現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)鏈縱深程度和產(chǎn)品線的廣度上。傅鑄紅表示，一方面，特種氣體對上游原材料品質(zhì)要求較高，縱向一體化發(fā)展有利于華特氣體加強(qiáng)對上游的把控。另一方面，是特種氣體品種繁多，通過橫向并購成熟的、優(yōu)秀的細(xì)分產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè)，能夠快速補(bǔ)充華特氣體的產(chǎn)品線，將公司做大做強(qiáng)。
2019年，華特氣體成功登陸科創(chuàng)板，這給華特氣體開展橫縱向拓展帶來了資本利好。特別是本次疫情引發(fā)了經(jīng)濟(jì)周期的下行，也給華特的擴(kuò)張帶來了不小的機(jī)會，傅鑄紅表示：“我們會認(rèn)真研究那些能給華特帶來較強(qiáng)協(xié)同效應(yīng)、對主業(yè)有所幫助的標(biāo)的，適時開展并購或投資。”“未來，我們計劃還要開展海外的兼并和收購，”他展望，“目前，我們的氣體已出口海外50多個國家和地區(qū)，銷售占比20%左右，但這些都是通過當(dāng)?shù)氐臍怏w公司進(jìn)行分銷。我們希望通過海外兼并和收購，以直接設(shè)點的方式去服務(wù)我們的海外終端用戶。”
用全球視野搶占行業(yè)制高點
自2002年確立以特種氣體為發(fā)展方向以來，華特氣體的成長路徑一直踐行著“全球化的視角下，搶占行業(yè)制高點”。特種氣體，尤其是應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的電子特種氣體的國產(chǎn)化，沒有國際一流的品質(zhì)，就進(jìn)入不了半導(dǎo)體行業(yè)的供應(yīng)鏈。作為“后起之秀”，華特氣體之所以能夠在這一巨頭壟斷的高端細(xì)分市場中撕開一道口子，就是因為十多年來，華特一直瞄準(zhǔn)國際一流產(chǎn)品，堅持研發(fā)高端特種氣體，繼而實現(xiàn)進(jìn)口替代。未來華特氣體還會繼續(xù)以特種氣體為發(fā)展方向，瞄準(zhǔn)大尺寸、小線寬這些半導(dǎo)體先進(jìn)制程，不斷的研制并推出一批技術(shù)難度高、市場容量大的產(chǎn)品，這也是華特作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)應(yīng)承擔(dān)起的責(zé)任。
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