星之球科技 來源：中國激光2013-03-17
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【摘要】 飛秒激光微加工技術具有加工精度高、熱效應小、損傷閾值低以及能夠實現真正的三維微結構加工等優點,這些特性是傳統的激光加工技術所無法取代的。首先回顧了激...
【摘要】 飛秒激光微加工技術具有加工精度高、熱效應小、損傷閾值低以及能夠實現真正的三維微結構加工等優點,這些特性是傳統的激光加工技術所無法取代的。首先回顧了激光微加工和超短脈沖激光技術的發展歷史,然后介紹超短脈沖激光與金屬和介質材料相互作用的機制,接著闡述了飛秒激光直寫、干涉和投影制備等各種加工方法的原理,重點討論飛秒激光在三維光子器件集成、微流體芯片制備及其在生化傳感方面的應用等,最后展望了飛秒激光微加工領域所面臨的機遇和挑戰,指出了未來的研究方向。 更多還原
【關鍵詞】 超快光學； 飛秒激光； 光與物質相互作用； 微加工； 集成光學； 雙光子聚合； 微流體； 納米顆粒；
| 飛秒激光發展 |
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