工業激光器主要是指用于加工的激光器，它的發展是激光加工技術發展的前提條件。90年代前，CO 2 激光器和YAG激光器占工業激光器的96%以上，進入90年代，這兩類激光器的發展主要表現在功率和光束質量的提高兩個方面。CO 2 激光器的功率整整提高了一個量級，但是，真正用于生產加工的CO 2 激光器功率，切割一般不超過3kW，焊接在10kW左右。為提高光束質量，快速軸流CO 2 (準基模輸出)激光器發展很快，主要用于切割和深穿透焊。對于YAG激光器，商品器件的功率由500W提高到1000W。采用激光諧振腔內加壓縮發散角裝置，使激光光束發散角減至5 mrad以下，提高了聚焦功率密度，強化了加工能力。
近幾年下述幾種激光器輸出功率和工作穩定性方面均有突破性進展，使激光加工技術躍上一個新的臺階。
(一)YAG激光器
1.板條(Slab)Nd:YAG激光器
該激光器從結構上克服了激光棒的熱變形(熱透鏡效應)，故有功率大(達2kW以上)、光束發散角小(接近衍射極限)的高質量激光輸出，提高了加工能力，可進行超深加工，如鉆孔深達76mm，切割厚度達40mm。
2.激光二極管（LD-Laser Diode）泵浦的Nd:YAG激光器 該激光器是用與YAG光譜吸收帶吻合的激光二極管泵浦Nd:YAG，大大減少了非吸收帶光能轉化的熱量，其主要特點是電光轉換效率高（高達 20%～40%），能直接獲得紫外波長的激光，從而為大功率、小型化、低能耗（工作電壓也低）、熱負荷小和長壽命穩定工作創造了條件。由于其波長位于紫外波段，光束質量好，可進行多種優質加工，四五年內有望成為主要的激光加工器件。圖6給出LD泵浦的Nd:YAG激光器的兩種激勵形式：（a）為端面激勵;（b）為側面激勵，其輸出功率達2kW，頻率2.5kHz。
（二）準分子(Excimer)激光器
所謂準分子是在激發態下結合為分子，基態離解為原子的不穩定締合物。用作激光工作介質的準分子有KrF,XeCl,AeF等氣態物質。其發出的激光屬紫外波段，激光器基本結構與CO 2 氣體激光器相同。紫外波段的準分子激光加工機理比較復雜，通常的解釋是依靠“激光消融”（Laser Ablation）來蝕除材料。即由于紫外光子能量比材料分子原子間的連接鍵能量大，材料吸收后（吸收率很高），破壞了原有的鍵連接而形成微小的碎片，當破壞達到一定程序后，碎片材料就自行剝落。每個脈沖可去除亞微米深的材料，如此逐層蝕除材料，達到加工目的。
激光消融是建立在光化學作用的基礎上進行的，與其他激光（熱）加工相比，它是在非放熱方式下進行的，故又稱為“激光冷加工”。準分子激光具有波長短（190～350mm），頻率高（達5kHz），效率高（達4%），光束質量好（發散角0.3mrad ，波長線寬1pm以下），工作壽命長，光束截面大等優點，是很有潛力的工業激光器。
目前商品化的器件功率在200W左右，世界上功率最大的是日本三菱電機公司1994年研制成功的XeCl激光器，放電管長3m，束截面為80mm×40mm。
（三）CO激光器
CO激光波長是CO 2 激光波長的一半，因此，光束的聚焦性和材料的吸收性都優于 CO 2 激光。例如3kW的CO激光的切割能力同5kW的CO 2 激光一樣。目前最大CO激光達20kW。
(四)銅蒸氣激光器
銅蒸氣激光是有望用于微細加工的一種激光器。它可作為倍頻YAG激光的取代器件。其波長為511～578nm的可見光，光脈寬20～60ns，重復頻率2～32kHz，目前器件有實用價值的輸出功率為10～120W，750W的器件也正在研究中。 總之，激光器技術的發展，大大促進了激光加工技術的發展，它不僅給已有的加工方法帶來了生機，而且也開辟了新的加工領域。
激光加工是制造技術家庭中最具活力的一個新成員，它以能力強、速度快、附加效益高等特點，活躍在各個領域。但對于每一項新開發的激光加工方法，能否最終轉換為生產力，還取決于是否有加工設備、工藝技術及測試監控技術等與之配套。這些方面近期也有很大發展，主要體現在多坐標數控化設備的研究;實現高速傳輸光束的研究;工藝、控制及檢測智能化的研究等。我所作為高能束加工國防科技重點實驗室，在進行科研生產的同時，密切關注激光領域先進技術的研究方向，跟蹤世界激光加工的發展，適時補充或調整實驗室研究項目，為發展激光加工業作出貢獻，為我國國防建設服務。
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