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光學設計軟件

大直徑平凸透鏡面形的陰影檢驗法(一)

星之球激光 來源:計量網2013-01-10 我要評論(0 )   

本文分析了使用樣板檢測大口徑平凸透鏡的弊端,細述了用刀口儀檢測大直徑凸面透鏡的相關計算方法和操作過程,并用實例加以證明。 光學 檢測中刀口儀在對球面光學元件的...

       本文分析了使用樣板檢測大口徑平凸透鏡的弊端,細述了用刀口儀檢測大直徑凸面透鏡的相關計算方法和操作過程,并用實例加以證明。

  光學檢測中刀口儀在對球面光學元件的檢測一般局限于對凹反射鏡的面形及曲率進行檢驗,對于凸透鏡的面形檢驗一般利用光學樣板進行判定,但光學零件樣板的最大直徑為130mm,對于直徑在140mm以上的平凸透鏡進行檢驗有一定局限性降低了檢驗精度,如圖1所示。其次用樣板直接接觸元件表面容易對光學元件表面造成破壞,此時如果借助于一些大型的光學檢測儀器,例如 zygo 干涉儀,利用此類大型儀器的優勢在于檢測的結果精密,光學元件的檢測結果可以量化,但是由于zygo干涉儀的價格昂貴,體積較為龐大,且對周圍的檢測環境要求較高,種種因素大幅提高光學檢測的成本,在這種情況之下我們提出利用便于攜帶、價格低廉的刀口儀對凸透鏡反射面面形與元件內部材料均勻性進行的檢測。本文基于以上幾點對用刀儀對凸透鏡的內反射檢驗進行了詳細闡述。

  1 求解加工和檢測初始參數

  本文以一個曲率半徑為 2000mm 直徑為260mm 中心厚度為 10 的平凸透鏡為例,采用K9 材料,用 HeNe 光波段進行檢測。檢測圖形如下:3 檢驗方法由于內反射檢驗的檢驗光線透過光學元件內部這就存在光學元件內外折率不一的問題,則首先需通過計算確定刀口儀擺放的位置。用傳統的光學計算手段計算需要較長時間且數據較多刀口儀放置的精確位置不好控制,我們可以直接利用 ZEMAX 進行光路模擬,優化后直接確定刀口儀的放置。

  如圖所示光線從刀口儀發出后通過凸透鏡內部折射后又由光學元件的凸面反射回刀口儀的觀測點。了解了光路走向后,用ZEMAX模擬并優化得到計算結果。

       計算結果清晰顯示刀口儀的光原點既檢驗點在距離光學元件凸面 1313.665454mm 的位置處。經過以上的計算可以掌握刀口儀的對凸透鏡進行檢驗的一些基本數據。利用刀口儀進行內反射檢驗前,首先要確定平凸透鏡的平面面形達到較高精度否則會對檢驗結果造成干擾。用刀口儀檢驗時應當先通過調焦螺釘和調節燈泡的位置把光束調節均勻,使從星點孔射出的光束投射在紙屏上成一均勻的圓斑時,可以確定光束基本調節均勻。使用狹縫時,先把燈絲象調節的光欄片,用白紙屏觀察它是否平行于狹縫,并通過轉動燈泡使它與狹縫平行,然后把燈絲象調節在狹縫處。

  從燈泡發出的光線經聚光鏡會聚后投射在刀片上,經刀片反射后在小孔或狹縫處射出光線,經過凸透鏡反射回來,又會聚在刀片的刀口處。在刀口處用肉眼直接觀察可看見一個有色散光斑,由于色散嚴重影響觀察效果,此時在刀口儀前方加一塊單色玻璃(本文中以紅色玻璃為例),此時視野里呈現出一塊明暗相間的紅色光斑。

 

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