在精密的半導體制造的光罩檢查工序中，一個脈沖深紫外光源將比連續波長技術更加穩定。根據日本制造商Megaopto開發人員的說法，這個基于光纖激光的光源的發光波長是199nm，頻率小于1GHz，適合于先進的光學檢測應用。（Applied Optics 48 1668）
“我們開發出了相干深紫外光源，采用光纖激光器，能夠產生非常短的波長。我們的目標是開發一個強大的、高分辨率、短波長光源，用于高精度半導體光罩檢測。”Megaopto公司的Yoshiharu Urata表示。
目前，半導體和微電子制造商采用傳統的連續波長、短波相干光源用于高精度光學檢測。這種激光的缺點是轉換效率較低，還需要一個強大的控制系統，電子系統設計得很復雜，要避免電磁干擾對自身的影響。
Megaopto的團隊改為采用脈沖激光（傳統的是采用連續激光），光束只一次轉換即可。這樣一個簡單的固態激光器就可以做到。這個團隊開發了這種高脈沖重復頻率深紫外光源。設計的關鍵是如何產生高頻脈沖（2.4MHz）。
“目前的挑戰是制作出適用于高級檢測用的零件，必須是高效的、窄脈沖寬度的，且帶有高分辨率和快速脈沖重復率。采用我們的深紫外激光器比連續波長激光器更容易取得這個性能，通過改善脈沖機制，可靠性得到了很大的改善。”Urata解釋道。
在Megaopto公司的裝置上，DUV光源是由一個一微米大小的光纖主振蕩器功率放大器（MOPA），一個1.5微米光纖MOPA和波長轉換裝置組成。來自1微米MOPA的基本脈沖被轉換為266nm波長，通過第二和第四諧波發生器，最后混合266nm和782nm的脈沖產生199nm波長的脈沖。
Megaopto正在設法改善光源，并推向工業應用。“當前，我們的深紫外光源實現了50mW的功率輸出，但是一般的光學檢測中采用的是100mW的功率，并且經常是連續開機6個月。”Urata表示。
轉載請注明出處。
相關文章
熱門資訊
精彩導讀
關注我們
