2019年12月6日，科技部科技評(píng)估中心在北京組織召開(kāi)國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)“高端全息光柵研發(fā)”項(xiàng)目綜合驗(yàn)收會(huì)，項(xiàng)目順利通過(guò)驗(yàn)收。
驗(yàn)收會(huì)上，專(zhuān)家組聽(tīng)取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、長(zhǎng)春光機(jī)所齊向東研究員作的項(xiàng)目研制工作總結(jié)報(bào)告，觀看了項(xiàng)目視頻，開(kāi)展了各參研單位研制設(shè)備遠(yuǎn)程視頻連線(xiàn)和開(kāi)發(fā)的高端光柵器件和光譜儀器的現(xiàn)場(chǎng)檢查，并進(jìn)行了質(zhì)詢(xún)討論。會(huì)議專(zhuān)家一致同意該項(xiàng)目通過(guò)綜合驗(yàn)收。
圖1 綜合驗(yàn)收會(huì)與會(huì)代表合影
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
光柵是一種具有納米精密周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，光柵除在各類(lèi)光譜儀器中擔(dān)當(dāng)“芯片”角色外，還在天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲(chǔ)、新能源等諸多領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。高端全息光柵是指具有高光譜分辨率、高衍射效率、高刻線(xiàn)密度、低雜散光強(qiáng)度或特殊面形以及體全息光柵等一些特種光柵類(lèi)型的全息光柵，代表了光柵制造技術(shù)的前沿水平。
在“高端全息光柵研發(fā)”項(xiàng)目立項(xiàng)之初，國(guó)外科研機(jī)構(gòu)和公司基本壟斷高端全息光柵市場(chǎng)。隨著我國(guó)光譜儀器行業(yè)打造高端光譜儀器產(chǎn)品、拓展國(guó)際市場(chǎng)需求的日益強(qiáng)烈，長(zhǎng)春光機(jī)所依托該專(zhuān)項(xiàng)支持，開(kāi)展了以高刻線(xiàn)密度光柵、大口徑高衍射效率光柵為代表的高端全息全息光柵的研發(fā)工作，旨在全面提升我國(guó)全息－離子束刻蝕光柵的研制水平，開(kāi)發(fā)出具有重要戰(zhàn)略意義及代表性且需求迫切的高端全息光柵，替代進(jìn)口的同時(shí)滿(mǎn)足我國(guó)光譜分析儀器自主創(chuàng)新對(duì)新型全息光柵的需求；實(shí)現(xiàn)以關(guān)鍵部件開(kāi)發(fā)為先導(dǎo)、輻射帶動(dòng)光譜分析儀器行業(yè)技術(shù)進(jìn)步，實(shí)現(xiàn)以高端全息光柵自主創(chuàng)新帶動(dòng)光譜分析儀器自主創(chuàng)新的目標(biāo)，完善光譜分析儀器產(chǎn)業(yè)鏈，增強(qiáng)儀器產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力。
項(xiàng)目組在研發(fā)周期內(nèi)建立并完善了高端全息光柵制造及檢測(cè)裝備，全面提高了高端全息光柵的工藝技術(shù)，研制出國(guó)際先進(jìn)的11種高端全息光柵，同時(shí)，聯(lián)合國(guó)內(nèi)優(yōu)勢(shì)企業(yè)應(yīng)用新光柵開(kāi)發(fā)出6種新型光譜儀器。
一是研制出大口徑勻膠機(jī)、大口徑曝光系統(tǒng)、曲面光柵離子束刻蝕機(jī)、大口徑反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、衍射波前測(cè)試儀、衍射光柵雜散光測(cè)試儀，形成了集光柵設(shè)計(jì)、制造及檢驗(yàn)于一體的開(kāi)發(fā)平臺(tái)。
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
二是研制出11種高端全息光柵母版，解決了高端全息光柵制造工藝技術(shù)及裝備的共性基礎(chǔ)問(wèn)題，全面提升了我國(guó)光柵制造能力。
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
三是在我國(guó)光譜分析儀器行業(yè)的六家領(lǐng)軍企業(yè)進(jìn)行應(yīng)用示范及產(chǎn)業(yè)化推廣，自主研發(fā)出低雜散光紫外可見(jiàn)光譜儀、新型火花直讀光譜儀、高速單道掃描電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀、雙光束紫外–可見(jiàn)分光光度計(jì)、醫(yī)用成像光譜儀、極紫外–軟X射線(xiàn)雙光柵單色器等六種高端光盤(pán)分析儀器。
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
通過(guò)該項(xiàng)目持續(xù)支持，長(zhǎng)春光機(jī)所研制出的高精度、高指標(biāo)、大尺寸的高端全息光柵，不僅代表了中國(guó)的超微細(xì)加工技術(shù)達(dá)到了世界水平，更打破了中國(guó)民用光譜儀器行業(yè)及國(guó)家戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度光柵受制于人的局面，在促進(jìn)中國(guó)光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無(wú)心”的局面，幫助中國(guó)光譜儀器產(chǎn)業(yè)改變低端化現(xiàn)狀，提升拓展國(guó)際市場(chǎng)能力方面將發(fā)揮重要支撐作用。
驗(yàn)收會(huì)上，專(zhuān)家組聽(tīng)取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、長(zhǎng)春光機(jī)所齊向東研究員作的項(xiàng)目研制工作總結(jié)報(bào)告，觀看了項(xiàng)目視頻，開(kāi)展了各參研單位研制設(shè)備遠(yuǎn)程視頻連線(xiàn)和開(kāi)發(fā)的高端光柵器件和光譜儀器的現(xiàn)場(chǎng)檢查，并進(jìn)行了質(zhì)詢(xún)討論。會(huì)議專(zhuān)家一致同意該項(xiàng)目通過(guò)綜合驗(yàn)收。
圖1 綜合驗(yàn)收會(huì)與會(huì)代表合影
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
光柵是一種具有納米精密周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，光柵除在各類(lèi)光譜儀器中擔(dān)當(dāng)“芯片”角色外，還在天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲(chǔ)、新能源等諸多領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。高端全息光柵是指具有高光譜分辨率、高衍射效率、高刻線(xiàn)密度、低雜散光強(qiáng)度或特殊面形以及體全息光柵等一些特種光柵類(lèi)型的全息光柵，代表了光柵制造技術(shù)的前沿水平。
在“高端全息光柵研發(fā)”項(xiàng)目立項(xiàng)之初，國(guó)外科研機(jī)構(gòu)和公司基本壟斷高端全息光柵市場(chǎng)。隨著我國(guó)光譜儀器行業(yè)打造高端光譜儀器產(chǎn)品、拓展國(guó)際市場(chǎng)需求的日益強(qiáng)烈，長(zhǎng)春光機(jī)所依托該專(zhuān)項(xiàng)支持，開(kāi)展了以高刻線(xiàn)密度光柵、大口徑高衍射效率光柵為代表的高端全息全息光柵的研發(fā)工作，旨在全面提升我國(guó)全息－離子束刻蝕光柵的研制水平，開(kāi)發(fā)出具有重要戰(zhàn)略意義及代表性且需求迫切的高端全息光柵，替代進(jìn)口的同時(shí)滿(mǎn)足我國(guó)光譜分析儀器自主創(chuàng)新對(duì)新型全息光柵的需求；實(shí)現(xiàn)以關(guān)鍵部件開(kāi)發(fā)為先導(dǎo)、輻射帶動(dòng)光譜分析儀器行業(yè)技術(shù)進(jìn)步，實(shí)現(xiàn)以高端全息光柵自主創(chuàng)新帶動(dòng)光譜分析儀器自主創(chuàng)新的目標(biāo)，完善光譜分析儀器產(chǎn)業(yè)鏈，增強(qiáng)儀器產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力。
項(xiàng)目組在研發(fā)周期內(nèi)建立并完善了高端全息光柵制造及檢測(cè)裝備，全面提高了高端全息光柵的工藝技術(shù)，研制出國(guó)際先進(jìn)的11種高端全息光柵，同時(shí)，聯(lián)合國(guó)內(nèi)優(yōu)勢(shì)企業(yè)應(yīng)用新光柵開(kāi)發(fā)出6種新型光譜儀器。
一是研制出大口徑勻膠機(jī)、大口徑曝光系統(tǒng)、曲面光柵離子束刻蝕機(jī)、大口徑反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、衍射波前測(cè)試儀、衍射光柵雜散光測(cè)試儀，形成了集光柵設(shè)計(jì)、制造及檢驗(yàn)于一體的開(kāi)發(fā)平臺(tái)。
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
二是研制出11種高端全息光柵母版，解決了高端全息光柵制造工藝技術(shù)及裝備的共性基礎(chǔ)問(wèn)題，全面提升了我國(guó)光柵制造能力。
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
三是在我國(guó)光譜分析儀器行業(yè)的六家領(lǐng)軍企業(yè)進(jìn)行應(yīng)用示范及產(chǎn)業(yè)化推廣，自主研發(fā)出低雜散光紫外可見(jiàn)光譜儀、新型火花直讀光譜儀、高速單道掃描電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀、雙光束紫外–可見(jiàn)分光光度計(jì)、醫(yī)用成像光譜儀、極紫外–軟X射線(xiàn)雙光柵單色器等六種高端光盤(pán)分析儀器。
圖片來(lái)源：長(zhǎng)春光機(jī)所
通過(guò)該項(xiàng)目持續(xù)支持，長(zhǎng)春光機(jī)所研制出的高精度、高指標(biāo)、大尺寸的高端全息光柵，不僅代表了中國(guó)的超微細(xì)加工技術(shù)達(dá)到了世界水平，更打破了中國(guó)民用光譜儀器行業(yè)及國(guó)家戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度光柵受制于人的局面，在促進(jìn)中國(guó)光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無(wú)心”的局面，幫助中國(guó)光譜儀器產(chǎn)業(yè)改變低端化現(xiàn)狀，提升拓展國(guó)際市場(chǎng)能力方面將發(fā)揮重要支撐作用。
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