位于中國泰州的人臉識別VCSEL研發和制造廠商華芯半導體選擇牛津儀器等離子技術公司（OIPT）的Cobra等離子蝕刻設備。
據麥姆斯咨詢報道，牛津儀器等離子技術公司（Oxford Instruments Plasma Technology，簡稱OIPT）近日宣布，華芯半導體（Sino－semic）已經選擇了其Cobra等離子蝕刻設備，用于VCSEL產品的批量生產。
華芯半導體員工全部是中國本土培養的優秀人才，其中VCSEL產品研發團隊有30多人，具有博士學位或中高級職稱的骨干成員超過10人，在器件結構設計、外延生長、芯片制程、封裝測試、可靠性分析等方面都有行業內頂尖的領軍人物。團隊核心成員主要畢業于中國科學院，有多人先后承擔973、863等國家重大項目以及自然科學基金等國家級科研項目。
2017年中旬，華芯半導體全自主開發的VCSEL開始提供客戶測試；同年年底，850nm 10G VCSEL芯片開始批量出貨，并且進行940nm VCSEL項目立項。今年，940nm VCSEL芯片已經進入批量出貨階段。
華芯半導體副總經理李軍表示：“無與倫比的工藝能力和響應積極的本地支持是我們選擇OIPT等離子刻蝕設備的原因，這對于VCSEL的批量生產非常重要。”
Cobra工藝解決方案旨在支持前沿器件研發和應用，如激光器、射頻、電源、高端LED等。
“基于VCSEL的消費類電子設備正在進入一個令人興奮的增長階段，” OIPT董事總經理Richard Pollard表示，“我們很高興為中國先進的激光器生產制造商（如華芯半導體）提供我們的VCSEL工藝解決方案！”
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