“您現(xiàn)在看到的這個(gè)大型器械就是科益虹源自主研發(fā)的準(zhǔn)分子激光器，它主要分為三層，每一層的作用都不盡相同。”北京科益虹源光電技術(shù)有限公司生產(chǎn)研發(fā)中心副總經(jīng)理江銳告訴記者，上層叫做高壓脈沖電源（分）系統(tǒng)，它主要是提供激光轉(zhuǎn)化所需的電子能量，這是一個(gè)高強(qiáng)度的電子能量，所以這是一個(gè)強(qiáng)電模塊；中間這一塊是關(guān)鍵的光學(xué)核心模塊，它就是把高壓的電能轉(zhuǎn)化成高強(qiáng)度的光能；底下的就是關(guān)鍵的控制模塊和一些支撐模塊，包括配水、配氣等等，它可以說(shuō)是整臺(tái)激光器的“大腦”，控制著整臺(tái)激光器的運(yùn)作。
科益虹源有三款主營(yíng)產(chǎn)品，分別是光刻用193nm準(zhǔn)分子激光器、光刻用248nm準(zhǔn)分子激光器以及浸沒(méi)式193nm準(zhǔn)分子激光器。這家企業(yè)已經(jīng)掌握了重頻4kHz的193nm準(zhǔn)分子光刻光源的核心技術(shù)，并開(kāi)發(fā)出了原理性樣機(jī)。此類定型光源產(chǎn)品主要用于90nm和65nm以下節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)，此類光刻機(jī)占據(jù)主要地位，并在更多i-Line升級(jí)領(lǐng)域逐漸占領(lǐng)更多市場(chǎng)。隨著工業(yè)4.0的不斷推進(jìn)，更多工業(yè)智能領(lǐng)域應(yīng)用的芯片將由90nm光刻機(jī)完成。248nm產(chǎn)品的技術(shù)基礎(chǔ)與193nm具有較強(qiáng)的相關(guān)性，技術(shù)難度小，開(kāi)發(fā)成本低，周期更快，在腔體設(shè)計(jì)和光學(xué)設(shè)計(jì)中只需要較小的改動(dòng)，就可以快速完成產(chǎn)品研制，推向市場(chǎng)。
據(jù)了解，北京科益虹源光電技術(shù)有限公司成立于2016年7月，注冊(cè)資本1.2億元，依托股東單位中科院光電院、微電子所的技術(shù)基礎(chǔ)，亦莊國(guó)投、國(guó)科控股的產(chǎn)業(yè)及資本力量，致力于打造自主創(chuàng)新型企業(yè)，以具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的準(zhǔn)分子激光技術(shù)及產(chǎn)品滿足國(guó)家和市場(chǎng)需求。科益虹源是國(guó)家02重大專項(xiàng)“浸沒(méi)式曝光光源研制與小批量產(chǎn)品生產(chǎn)能力建設(shè)”的成果產(chǎn)業(yè)化載體，也是作為“三城一區(qū)”科技創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化落地的一個(gè)實(shí)例。
“科益虹源作為開(kāi)發(fā)區(qū)光刻機(jī)零部件技術(shù)創(chuàng)新中心建設(shè)的牽頭單位，企業(yè)自主研發(fā)的準(zhǔn)分子激光技術(shù)及產(chǎn)品成為國(guó)內(nèi)高水平的專業(yè)準(zhǔn)分子激光技術(shù)解決方案提供商，該項(xiàng)光刻用準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)打破了美國(guó)和日本的長(zhǎng)期壟斷地位。我們是目前國(guó)內(nèi)惟一一支從事光刻準(zhǔn)分子激光的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，現(xiàn)已打破該技術(shù)的國(guó)際壟斷局面，尤其是在國(guó)內(nèi)專利布局上，目前國(guó)家在該領(lǐng)域里70%的專利都出自我們這個(gè)小團(tuán)隊(duì)。”
科益虹源總經(jīng)理?xiàng)钴娂t告訴記者，“公司投產(chǎn)的首臺(tái)高能準(zhǔn)分子激光器順利通過(guò)出廠驗(yàn)收后，將向中國(guó)科學(xué)院在西南地區(qū)規(guī)模最大的研究所——中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所提供服務(wù)”。
“三城”主要是要圍繞著原創(chuàng)創(chuàng)新和重大關(guān)鍵技術(shù)創(chuàng)新，要為高精尖產(chǎn)業(yè)構(gòu)建提供源頭活水和技術(shù)支撐;“一區(qū)”則是對(duì)接三大科學(xué)城，讓三大科學(xué)城的科技成果在這里集中轉(zhuǎn)化，形成高端產(chǎn)業(yè)加速聚集的態(tài)勢(shì)。北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)管委會(huì)副主任陳小男表示：“北京亦莊已經(jīng)成為高精尖產(chǎn)業(yè)的集聚區(qū)，并且形成了集成電路，能夠生產(chǎn)12英寸、28納米的集成電路芯片，這在世界上屬于第一梯隊(duì)；在新能源汽車、奔馳發(fā)動(dòng)機(jī)等核心部件的制造生產(chǎn)方面形成了較大產(chǎn)業(yè)；還有顯示技術(shù)，以京東方為代表，現(xiàn)在分辨率已經(jīng)實(shí)現(xiàn)4K，到2022年北京冬奧會(huì)的時(shí)候?qū)⒖赡艹霈F(xiàn)8K的顯示技術(shù)和直播節(jié)目。另外北京亦莊在醫(yī)療制藥和醫(yī)療器械等方面也很有特色，產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、服務(wù)體系和高精尖產(chǎn)業(yè)的發(fā)展環(huán)境已經(jīng)形成。未來(lái)三大科學(xué)城的科技成果將在這里集中轉(zhuǎn)化，形成高精尖高端產(chǎn)業(yè)加速聚集的態(tài)勢(shì)，努力打造北京亦莊，中國(guó)亦莊，世界亦莊。”
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