芯維(山東)科技有限公司成功自主研發(fā)高功率深紫外(DUV)激光器，輸出功率達(dá)到1.2W，該項(xiàng)研究填補(bǔ)了技術(shù)空白，改變了此前該領(lǐng)域由海外供應(yīng)商主導(dǎo)的格局，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈安全及高端裝備國(guó)產(chǎn)化提供了新的支撐點(diǎn)。
深紫外激光器是高端半導(dǎo)體芯片前道檢測(cè)設(shè)備(如掩模檢測(cè)、晶圓缺陷檢測(cè)等)不可或缺的核心光源，技術(shù)門檻高，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)長(zhǎng)期被歐美日企業(yè)壟斷，成為制約我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展的“卡脖子”難題。芯維科技自主研發(fā)的高抗灰跡BBO(偏硼酸鋇)晶，在深紫外激光器應(yīng)用中將使用壽命顯著延長(zhǎng)至3000小時(shí)以上，關(guān)鍵性能指標(biāo)達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水準(zhǔn)，相關(guān)成果已申請(qǐng)項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專利，其技術(shù)先進(jìn)性與創(chuàng)新性得到業(yè)內(nèi)多家企業(yè)的認(rèn)可與高度評(píng)價(jià)，采用獨(dú)創(chuàng)工藝，突破了核心器件技術(shù)瓶頸。
芯維(山東)科技有限公司深紫外激光器項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)成員來光電、材料、機(jī)械等多個(gè)專業(yè)，在校企協(xié)同創(chuàng)新模式下，團(tuán)隊(duì)成員共同攻克了關(guān)鍵難題，展現(xiàn)出我國(guó)在高端科技領(lǐng)域人才培養(yǎng)與產(chǎn)學(xué)研融合的創(chuàng)新活力。團(tuán)隊(duì)歷時(shí)兩年潛心攻關(guān)，突破技術(shù)瓶頸，為我國(guó)深紫外激光產(chǎn)業(yè)發(fā)展開辟了新篇章。
芯維科技正積極規(guī)劃產(chǎn)能擴(kuò)張，將進(jìn)一步降低對(duì)海外供應(yīng)鏈的依賴，為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體裝備體系增加一條相對(duì)安全、可控的核心器件通道，對(duì)打破國(guó)際壟斷、提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性與安全水平、支撐國(guó)家信息產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展具有深遠(yuǎn)的戰(zhàn)略意義。
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