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高功率激光器測量-熱電堆(Thermopile)探測器

星之球科技 來源:Newport理波2016-02-21 我要評論(0 )   

激光功率(或能量)是表征激光器最重要的參數,最主要的探測器類型有光電二極管,熱電堆探測器和熱釋電探測器。除此以外,特殊應用還有光電倍增管,雪崩二極管等。常見...

 激光功率(或能量)是表征激光器最重要的參數,最主要的探測器類型有光電二極管,熱電堆探測器和熱釋電探測器。除此以外,特殊應用還有光電倍增管,雪崩二極管等。常見高功率激光器(YAG, CO2等)功率測量的最主要設備就是熱電堆探測器。熱電堆探測器的主要優點是:高功率(uW-KW)及響應波段寬(紫外到>10um),響應范圍為整個紅外區域,室溫下工作,使用方便。而且整個響應區域,響應度曲線整體平整,隨波長變化不大,特別適用于寬波段光學測量。它的劣勢是響應速度慢,低功率(uW級)測量準確性不高。
 
熱電堆(Thermopile)探測器原理
熱電堆傳感器由兩種不同金屬連接在一起,是利用溫差電現象制成的一種器件,在熱端和冷端有溫差時,回路中會產生溫差電動勢,其數值與輻射量有關。激光功率照射熱電堆的導熱盤,測量出的溫度變化正比于入射的光功率。由于所有的熱量都可以被熱電堆吸收,檢測器的響應幾乎是獨立于激光光束大小和位置。Newport的探測器均勻性達到<±2%.
 
熱電堆盤類型(表面與體吸收結構)
沒有一種吸收體符合所有激光功率測量的需求。長脈沖(0.1-10ms)和連續波的吸收體,其特征是薄(一般為0.1µm)和耐火材料,因為在脈沖持續時間內,熱可以通過涂層進入到導熱盤。而測量短脈沖(<1us)的激光不能采用上述結構,所有的能量沉積在一個薄的表面層,這會導致導熱盤表面的破壞和蒸發。
 
熱電堆可以測量激光功率從幾十微瓦到千瓦不等。然而,導熱盤的測量范圍是有限的。如果兩種材料熱和冷的交界處的溫度差異超過幾十度,不斷加熱/冷卻會導致器件過早損壞。因此,為了適應不同的功率測量范圍,需要選擇不同厚度和大小的導熱盤,厚的用于高功率激光測量,薄的用于低功率。導熱盤的響應時間是取決于它們的大小和形狀:直徑較大和較厚的導熱盤比薄和小的導熱盤響應慢。
 
測量短脈沖激光時(幾十個微秒或甚至更短),熱沉積在短時間內不能流入導熱盤。因此,吸收的能量在一個薄的表面層是不合適的。在這種情況下,使用體吸收結構。中性密度玻璃吸收光的深度為1-3毫米而不是微米級。因此,即使短脈沖在沒有熱量流動,光和熱沉積到相當的深度,因此體吸收結構能夠承受更高的能量密度——達10焦耳/平方厘米。
 
高功率熱電堆探測器的標定方法和準確性
高功率(5KW)熱電堆探測器Newport 919P-5KW-50是使用相對較低功率的激光器150-300W進行標定。使用這樣的低功率激光進行標定,而當使用高功率測量時,就會讓人想到關于標定精度的問題。通過熱電堆探測器的工作原理可知,由于它是電壓產生裝置,因此電壓輸出必須是線性的。如果在低功率的校準是準確的,在高功率它將保持較高的準確性,919P-5KW-50的準確度在±5%以上。
 
使用熱電堆探測器來測量單脈沖能量
雖然熱電堆激光功率探測器主要用于測量功率,其實它還可測量單脈沖能量。由于導熱盤加熱和冷卻下來的時間通常是幾秒鐘,這種熱探測器只能測量每幾秒鐘一個的單一脈沖,因此它僅僅適用于所謂的“Single shot”的測量,而且測量的脈沖寬度是沒有限制的。
 
Newport 919P-020-12響應度曲線
響應范圍為整個紅外區域,且響應度隨波長變化極小。測試結果見下圖。

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激光功率激光器
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