近日，我國自主研制的C919大型客機下線，這是中國自主研制大飛機的里程碑，也是中國高端制造業(yè)的突破性進展！產(chǎn)業(yè)發(fā)展和升級使得微電子、微機械、光學和現(xiàn)代超精密加工工業(yè)對檢測精度的要求越來越高，同時要求更大的檢測量程，而其他檢測方法難以勝任，只有激光干涉檢測技術可以在大量程內(nèi)達到較高的測量精度，所以在高端制造領域得到廣泛應用。
中圖儀器推出的SJ6000激光干涉儀，采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術、多參數(shù)環(huán)境補償技術、高速數(shù)字信號處理系統(tǒng)等技術，通過與不同的光學組件結(jié)合，實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。是校準數(shù)字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標最常用的標準儀器。
1、在數(shù)控機床檢定中的應用
SJ6000激光干涉儀可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術，是大幅度提高數(shù)控機床的加工精度的關鍵措施。
2、在三坐標檢測中的應用
SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業(yè)對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結(jié)構件由于高速運行產(chǎn)生機構變形，導致的動態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態(tài)誤差、動態(tài)誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。
3、在位移傳感器中的應用
利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳感器實現(xiàn)高精度校準的重要手段。
4、與其他鏡組配合的應用
SJ6000激光干涉儀與不同光學組件結(jié)合，可以實現(xiàn)距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測量，具有極高的精度和效率。
SJ6000激光干涉儀技術參數(shù)：
技術線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)
激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm
分辨率：0.001um
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