小于100μm厚度微米尺度結構的薄金屬箔的用于遮屏、電接觸條、醫療設備和其他用途。這種結構的生產過程要求引起最小的機械和熱應力的結構，同時提供經濟上的可行性。
激光微切削是一種非接觸式，節約成本的方法，如果激光熱積累和輔助氣體可以控制。為了經濟效率，執行過程無毛刺或碎片是必要的，能夠節省后續處理成本。
飛秒激光加工
上述流程需要在飛秒激光脈沖寬度范圍內。飛秒脈沖加工新品質，源于非熱能的消融效果。在飛秒的時間寬度內，材料融化過程類似于化學鍵的斷裂，但沒有融化。因為熱量穿透深度，周圍的融化區域幾乎沒有影響，這取決于脈沖持續時間低于10納秒。由此得到優良的加工表面，獲得良好的無毛刺切邊。
關于熱積累，燒蝕閾值影響必須考慮。由于材料特性值，并不是所有的激光脈沖能量都導致融化。光束焦點的周圍區域和更深的材料層中，熱影響沒有達到閾值，導致剩余熱量輸入。由于閾值影響與脈沖寬度的平方根線性相關，飛秒脈沖熱量輸入遠低于長脈沖或連續激光。通過調整光束偏差的策略，就算是高脈沖以十萬赫茲的頻率也可以保證區域內熱量積累處于低水平，促進熱敏感材料的處理。
此外，在飛秒范圍內的非熱能融化只需要低氣壓的輔助氣體，所以氣體流動不會改變細微結構。
切割實驗結果
20至40μm厚度的銅片與鈦片被用來證明切割20到100μm寬、長1至2厘米的縫。測試是用實驗室中的10W的飛秒激光器(德國業納的JenLas femto 10)加工，加上一個電流計掃描儀。當選定的部件是工業用料時，結果可以直接轉移到工業應用結果。在單模和多模下直線切割，找到最佳燒融條件。切割質量取決于邊緣的銳度或熱變形。
飛秒激光的需求
光束質量是決定了良好的焦點和切割高精度。像JenLas femto 10的薄片型激光器的光束質量接近理論極限。薄磁盤良好的制冷和熱控制，成就了高質量光束。薄片型激光器也無需擔心工件的反射。
在切割質量不變的前提下，切割速度可通過脈沖重復率和脈沖能量提升?？烧{激光脈沖重復率的10W激光器用于提供程序。例如，50μJ脈沖能量在200khz，能夠確保足夠的能量用分光鏡平行切割。
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