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超快激光器

高功率皮秒/飛秒激光器開創(chuàng)應(yīng)用新天地(三)

星之球激光 來源:激光世界2011-12-08 我要評論(0 )   

半導(dǎo)體 晶圓切割 目前,從一塊硅片上分離出 計算機 芯片的最先進的方法是用金剛石鋸切割。然而薄硅片非常易碎,這回也是金剛石鋸切割所面臨的一大挑戰(zhàn)。由于存在機械接...

  半導(dǎo)體晶圓切割

    目前,從一塊硅片上分離出計算機芯片的最先進的方法是用金剛石鋸切割。然而薄硅片非常易碎,這回也是金剛石鋸切割所面臨的一大挑戰(zhàn)。由于存在機械接觸,晶圓在鋸割的過程中必須非常小心謹慎,以避免破壞晶圓或是在切割邊緣產(chǎn)生破損。

    皮秒激光器與高速和精密線性加工相結(jié)合,可作為一種非接觸式工具實現(xiàn)比金剛石鋸更快速的晶圓切割。使用皮秒脈沖激光器的另一個優(yōu)點是:其能實現(xiàn)更高的切割質(zhì)量以及可以忽略的熱影響區(qū),這樣切割邊緣將具有更高的強度,這對于晶圓在下一個處理步驟中保持良好的機械負荷非常重要。

 心血管支架切割

     心血管支架制造商正在試圖利用高分子材料的優(yōu)勢,例如可吸收性。使用連續(xù)光纖激光器或固體激光器實現(xiàn)的最先進的激光聚變切割,只適用于切割金屬支架,并且會產(chǎn)生融化和毛刺,這將需要昂貴的后續(xù)處理過程,同時也降低了產(chǎn)量。

  選擇適當?shù)牟ㄩL、切割元件和旋轉(zhuǎn)加工,皮秒激光器能實現(xiàn)與熔融切割相匹敵的切割速度,并在切割質(zhì)量方面具有明顯優(yōu)勢,能將后續(xù)處理降低到最低程度,進而提高生產(chǎn)量。此外,相同的皮秒激光器可用于切割聚合物及其他非金屬支架,能實現(xiàn)較高的切割速度與切割質(zhì)量,使其成為用于醫(yī)療設(shè)備制造的一種具有潛力的切割工具(見圖4)。

 

  適當?shù)牟ㄩL、切割元件和旋轉(zhuǎn)加工,能使皮秒激光器實現(xiàn)高速切割,并且能獲得較高的高分子材料切割質(zhì)量,這些材料是開發(fā)出來用于心血管支架和其他醫(yī)療設(shè)備的主要材料。

  顯示器玻璃切割

  顯示器制造商正在尋找新的切割解決方案,要求切割后玻璃的邊緣具有較高的強度。此外,顯示行業(yè)的發(fā)展趨勢正在向超薄玻璃和化學(xué)硬化覆層玻璃發(fā)展,并且需要靈活的形狀以實現(xiàn)時尚設(shè)計。

  與硅類似,玻璃是一種脆性硬質(zhì)材料。最先進的顯示器玻璃切割是通過機械劃線實現(xiàn)的。這種方法產(chǎn)生的切割邊緣通常會有裂縫和碎屑,并且切割邊緣的強度較差,這使得邊緣打磨成為一個必不可少的后續(xù)步驟。打磨步驟的必要性不僅限制了玻璃結(jié)構(gòu)的靈活性,而且也限制了玻璃的厚度。

  經(jīng)過多年的應(yīng)用開發(fā),皮秒激光器已經(jīng)在移動顯示器的批量生產(chǎn)中實現(xiàn)了較大突破(見圖5),不僅切割邊緣質(zhì)量有了提高,而且還實現(xiàn)靈活的幾何形狀。皮秒激光器已經(jīng)成為切割超薄玻璃以及硬化玻璃的一種功能強大的工具。

 

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