高純氣體(High Purity Gases)氣體工業名詞，通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氫，氮，氦，氬而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮，氫，氬，氦可作為運載氣，保護氣和配制混合氣的底氣。
高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體。
有機高純氣體
1、烷烴類：
甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、環丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、環氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等；
2、烯烴類：
乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、異丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、順-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；
3、炔烴類：
乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；
4、其他：
二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸劑（C2H4O-CO2)等
無機高純氣體
1、空氣（Air）、氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、氬氣（Ar）、氦氣（He）、氖氣（Ne）、氪氣（Kr）、氙氣（Xe）等；
2、氨氣（NH3）、氯氣（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亞氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氫（HCl）、溴化氫（HBr）、硫化氫（H2S）等；
3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、 四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等
高純氣體產品的分類
序號 氣體名稱 純度/% 主要用途 氮氣N2? 1#p#分頁標題#e# 純氬Ar ≥99.99 冶煉、切割、焊接、電子工業 2 高純氬Ar ≥99.999 電子管、特種燈泡、真空技術 3 4 高純氮N2 ≥99.999 科研、電子、機械行業、色譜儀、載氣 5 純氫H2 ≥99.99 金屬冶煉、焊接、國防工業 6#p#分頁標題#e# 高純氫H2 ≥99.999 電子工業、石油化工、色譜儀、載氣 8 高純氦氣He ≥99.999 色譜儀載氣、電子工業等 9 工業氧O2 ≥99 鋼材焊接、火焰加工 10 高純氧O2 ≥99.95 標準氣體的制備、集成電路、科學研究 11 工業氫H2 ≥99 石油、油脂加氫、人造寶石、石英玻璃制造、金屬切割 12#p#分頁標題#e# 純氙Xe ≥99.99 電光源工業、醫療、電真空、激光行業 13 高純氙Xe ≥99.999 14 純氪Kr ≥99.99 電光源工業、電真空工業 15 高純氪Kr ≥99.999 16 純氖Ne ≥99.99 電光源工業 17 液體二氧化碳CO2 ≥99.9 化工、焊接、制冷、化纖、農業、食品添加劑 18#p#分頁標題#e# 高純二氧化碳CO2 ≥99.999 標準氣體的制備 20 硫化氫H2S ≥99.9 標準氣制備、等離子干刻 22 甲烷CH4 ≥99.9 低溫液體洗滌劑標準氣及混合氣制備 23 乙炔C2H2 ≥99 金屬焊接、切割、加熱燃料、有機產品原料 24#p#分頁標題#e# 丙烷C3H8 ≥99.9 石油化工、醫學檢驗、標準氣體的制備 25 乙烯C2H4 ≥99.9 乙烯、丙烯成分分析標準氣體的制備 26 丙烯C3H6 ≥99.9 化工合成、焊接、燃燒等 27 乙硼烷B2H6 ≥99.995 半導體器件制造中的重要P型摻雜源 28 磷烷PH3 ≥99.999 半導體器件制造中的重要N型摻雜源 29#p#分頁標題#e# 砷烷AsH3 ≥99.999 N型摻雜劑 30 硅烷SiH4 ≥99.999 用于制備高純多晶硅
目前, 國內市場的氣體產品按其用途可進行如下分類:
1、一般工業用氣。包括工業氫氣、工業氮氣等。
2 、醫療用氣。包括醫用氧氣、麻醉氣等。
3、食品工業用氣。如液體二氧化碳。
4、 民用燃氣。如天然氣, 液化石油氣等。
5、電子工業用氣。如硅烷、磷烷等。
6、儀器儀表用氣。如標準氣、色譜載氣等。
7、其它特殊用途用氣。
一般情況下, 1～4 類氣體產品的市場需求量很大, 而純度要求不是很高, 主體成分含量通常在9915% 以下。
5～ 7 類氣體即所謂的特種氣體, 其特點是品種繁多, 市場需求量較小, 純度要求高, 對其所含的雜質的種類和數量有著嚴格
的限定。
不同類別的同一種氣體, 質量要求差異很大。
≥99.99???
化工、冶金、電子工業?
純氦He?
≥99.99?
電子工業、潛水呼吸?
一氧化碳CO?
≥99.9?
金屬冶煉、滲碳、標準氣及混合氣制備?
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