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超快激光器

納秒脈沖光纖激光器:不止于標刻

admin 來源:未知2010-08-02 我要評論(0 )   

這十年來, 光纖 激光 技術已迅速成為1微米波長的材料加工應用中的主要候選技術,尤其在標刻應用中, 光纖激光器 已占據激光源的三分之一。光纖激光源為用戶提供簡潔的...

這十年來,光纖激光技術已迅速成為1微米波長的材料加工應用中的主要候選技術,尤其在標刻應用中,光纖激光器已占據激光源的三分之一。光纖激光源為用戶提供簡潔的低成本解決方案,無需維護,降低產權方案的成本。對于非技術用戶來說,這也是一種“安裝之后就不必管它”的選擇。

        對于許多激光來說,由于在使用氣體或棒狀激光器時,光學器件、熱透鏡或其它對準效應的下降,維持光束質量通常很困難的。事實上,可以采用對特殊模式進行光學設計來滿足特別的材料加工應用。

        最新一代的納米脈沖光纖激光器簡潔緊湊,調整光束質量后的光源非常靈活,有若干可配置的脈沖選項。這將改進大多數應用的工藝。近來,峰值功率和脈沖能量的提高使得傳統標刻加工邁上了新的臺階,也使激光器成為功能強大的精密加工工具。 

        許多光纖激光器基于調Q類型的設計,并且模仿了其他固態激光器的能力。這種光源仍主要應用于當前的標刻應用中,它受限于脈沖參數的能力,不能突破重復率小 于100千赫的限制。基于主振動率放大器(MOPA)設計的光纖激光器使用直接調制的種子激光器和放大器通路,能靈活控制如脈沖長度和頻率等脈沖參數。 

        例如,SPI最新的MOPA設計能夠達到很高的峰值功率,這是無法在標準調制時達到的,在平均輸出功率為40瓦時,一些模式的峰值脈沖功率能超過20千 瓦,在30千赫時脈沖能量能大于1.25mJ。另外,這些模式的脈沖頻率范圍高達1到500千赫,脈沖持續時間范圍為20到200納秒,并且能在連續波 (CW)模式下工作。 

  材料加工中,影響質量和生產能力的一些關鍵參數包括:峰值脈沖功率(千瓦)、脈沖能量(mJ)、脈沖頻率(千赫)、平均功率(瓦)、脈沖持續時間(納秒)和光束質量(M2)。大多數脈沖激光材料加工應用需要綜合考慮上述參數。 

        脈沖加工在本質上嚴重依賴于重疊激光光斑才能取得理想的結果。盡管高一些的重疊也可以讓標記的外觀幾近平滑,但通常對于許多激光加工(laser oem)來說,普遍接受的是大于30%的光斑重疊。高重復率意味著可以達到更高的加工速度。在500千赫時,當掃描速度高達8米/秒時就能夠取得30%光斑重疊的效果。 

圖1 (上圖)25kHz0.8mj斑點標記,(下圖)375kHz0.05mj平滑高對比度標記5米/秒

        在加工敏感材料時,需要仔細控制熱輸入,通常最好采用較短的脈沖和較高的重復率。在加工塑料和聚合材料時,則最好維持峰值功率并且限制每單位長度的總熱輸入(見圖1)。其他應用加工,如除漆(24小時標記)、彩色標記、集成電路打標以及薄膜圖案生成(太陽能電池液晶屏幕),則最好要滿足大于100千赫的條件。 

        光束質量對許多應用來說有著決定性影響,低M2并不是在所有場合中適用,因而在考慮是否適合某用途時必須考慮光束質量。低M2光束能在加工域上產生更小更 深的斑點,但是更高的峰值功率將導致過度的中心點強度,從而導致問題發生,例如在薄膜制圖或清除應用中引發基底損壞。當區域較大時,由于行距較小,就需要 較小斑點加工更多次。在這些應用中,高M2光束在更寬的功率分布時,更適用于區域加工。 

圖2 光束質量的對比

        在SPI公司,我們已經開發了一系列脈沖激光器,可以廣泛用于標稱需要不同光束質量的應用(見圖2)。激光器光束質量的影響極為顯著,主要與產生的聚焦斑點尺寸相關。對比研究則顯示出斑點尺寸對于標刻和鉆孔加工應用的影響。當激光脈沖數量相同時,單模脈沖激光器可以產生窄深的高深寬比的孔,而更高模式的激光器則產生漸寬漸淺的孔。這一結果或許在多數情況下有效,不過要指出的是,最終特征不必嚴格與估算的斑點尺寸一致,這應該視應用的要求而定。

 

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