深圳新聞網2025年12月26日訊（深圳特區報記者 張銳）12月25日，深圳技術大學半導體微納加工中心與測試平臺正式落成。作為深圳市首個聚焦化合物半導體光電子領域的公共服務平臺，該平臺的投用填補了深圳市在“光載信息”和“智能傳感”半導體芯片領域的空白，將為粵港澳大灣區半導體產業高質量發展提供關鍵支撐，筑牢深技大應用研究型人才培養根基。
深圳技術大學半導體微納加工中心與測試平臺是國內高校系統中獨立建成的規模最大、工藝最完整、運營職業化的化合物半導體光電芯片公共服務平臺之一。中心建筑面積2600平方米，其中千級、百級及萬級潔凈區面積達2100平方米。作為深圳市首個同時支撐化合物光電芯片與MEMS傳感芯片上游制造的公共服務平臺，配置120余臺套先進教學與研發工藝設備，構建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關鍵環節的全流程工藝體系，可提供“設計—加工—封裝—測試”一站式技術解決方案。
人才培養方面，中心精準對接深技大應用研究型人才培養需求，依托深技大集成電路與光電芯片學院，組建了由50多名高層次科研人員構成的核心團隊，已構建起從基礎研究到工藝實現、從中試到產業化的完整創新鏈條。
據介紹，半導體微納加工中心與測試平臺將以專業化、高水平的半導體加工與測試服務為核心抓手，加快破解半導體光電產業領域關鍵核心技術，加速推動半導體與集成電路領域研究成果的工程化突破、產業化應用、市場化推廣，為深圳市半導體產業和坪山區“中國芯”支柱產業高質量發展提供堅實支撐。
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