據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，海目星激光科技集團(tuán)股份有限公司取得一項(xiàng)名為“紫外激光諧振腔、激光器、及激光加工裝置”，公開號CN220042573U，專利申請日期為2023年。
專利摘要顯示，本實(shí)用新型提出了一種紫外激光諧振腔、激光器、及激光加工裝置，涉及激光技術(shù)領(lǐng)域。根據(jù)第一方面的一種紫外激光諧振腔，包括：起點(diǎn)反射鏡、終點(diǎn)反射鏡、第一中繼反射鏡以及第二中繼反射鏡，進(jìn)入諧振腔的光束在起點(diǎn)反射鏡和終點(diǎn)反射鏡之間往返，第一中繼反射鏡和第二中繼反射鏡設(shè)置在起點(diǎn)反射鏡和終點(diǎn)反射鏡之間的光軸上，從起點(diǎn)反射鏡向終點(diǎn)反射鏡傳播的光束，依次經(jīng)過第一中繼反射鏡、第二中繼反射鏡和終點(diǎn)反射鏡；設(shè)置在光軸上的激光晶體、光調(diào)制器以及倍頻晶體。通過在諧振腔中設(shè)置光調(diào)制器和倍頻晶體，使得諧振腔能控制腔內(nèi)激光的Q值，從而輸出高功率的激光脈沖。
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