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深度解讀

射頻板條波導CO2激光器 為何需要光束整形?

激光制造網 來源:SPT斯派特激光2022-03-14 我要評論(0 )   

全金屬封離型射頻激勵擴散冷卻板條波導CO2激光器,一般簡稱為CO2射頻板條激光器。ZAMIA的Q系列射頻激光器就屬于板條波導CO2激光器,下面小特將以Q系列為例,為大家一一...

全金屬封離型射頻激勵擴散冷卻板條波導CO2激光器,一般簡稱為CO2射頻板條激光器。

ZAMIA 的 Q系列射頻激光器就屬于板條波導CO2激光器,下面小特將以Q系列為例,為大家一一剖析,

——“ 射頻板條波導CO2激光器為何需要光束整形 ”

/ Q 系 列 射 頻 激 光 器 /


不同于全波導的CO2激光器,板條波導CO2激光器的放電區是由兩塊相對平行放置的間隔為毫米的長方形金屬板條構成。


兩個全反射鏡安裝在兩金屬板條兩端,組成激光器諧振腔,用于提取激光。腔鏡帶有曲率,曲率半徑短的為前腔鏡,曲率半徑較長的為后腔鏡,前腔鏡短于后腔鏡,兩腔鏡一側對齊安裝,激光束從前腔鏡的另一側輸出。如下圖



兩極板之間長幾百毫米,寬數十毫米,高度為幾毫米空間,從數值上看,高度方向的尺寸和激光束相當,遠小于寬度方向,形狀近似為一平片。


在此空間內發生放電,產生增益介質。同時,在兩片諧振腔之間振蕩的激光往返多次通過此區域。


每次激光束通過此區域時,在高度方向和寬度方向上傳輸規律不同,在寬度方向上,由于寬度方向的尺寸遠大于激光光束的尺寸,所以,激光束在此方向上是不受約束的自由通過。


而在高度方向上,由于高度方向的尺寸和激光光束的尺寸相當,所以,每次激光束在此方向上受約束通過。


激光束在腔內多次振蕩,通過兩極板間的平片空間,在前鏡的一側輸出,造成最終輸出的激光光束在寬度和高度方向上的不對稱。激光束表現在兩個方向上的發散角和光斑大小不同,在寬度方向上的發散角小,高度方向上的發散角大,即兩個方向的光束質量不同。


下圖為從諧振腔內輸出后的激光光束在自由空間傳輸時的示意圖:


從上圖可以看出,激光光束隨著傳輸距離不同,光斑形狀發生變化,在遠場為一橢圓光斑。


這種激光光束直接聚焦,在焦點位置得到的也是一橢圓光斑。這將會導致加工時兩個方向的線條粗細不一致,切割效果不同,最終影響加工效果。


/ Q 系 列 射 頻 激 光 器 /


所以為了得到兩個方向的發散角相同,光斑大小相同的激光光束,需要對上述的不對稱激光光束進行整形,使其兩個方向的光束質量因子相同,得到圓對稱的準基模高斯光束。讓激光打標機,激光切割機,激光雕刻機等激光加工設備可以得到圓形的聚焦光斑。


激光光束整形為一系列鏡片組成的復雜系統,一般在兩個方向上,分別引入非對稱光學元件,如柱透鏡,或者柱面反射鏡來實現。

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