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新型激光光源近常壓光發射電子顯微鏡研制成功

來源:中國科學報2019-11-12 我要評論(0 )   

基于可調諧深紫外激光光源的近常壓光發射電子顯微鏡攝影劉萬生近日,由中科院大連化物所研究員傅強和包信和院士承擔的國家重大科


基于可調諧深紫外激光光源的近常壓光發射電子顯微鏡            攝影劉萬生


近日,由中科院大連化物所研究員傅強和包信和院士承擔的國家重大科研裝備研制項目——“深紫外固態激光源前沿裝備研制項目(二期)”子項目“基于可調諧深紫外激光光源的近常壓光發射電子顯微鏡的研制”順利通過現場技術測試驗收。

本項目利用我國自主研制的可調諧深紫外激光光源作為激發光源,通過設計和研制多級加速電子光學系統、多級差抽真空系統、近常壓樣品室等關鍵部件,首次實現近常壓氣氛下的深紫外激光光發射電子顯微鏡成像功能,最高成像壓力1毫巴以上,近常壓光發射電子顯微鏡的分辨率達到30納米,是一套世界領先并且功能獨特的原位動態表面成像研究平臺。

光發射電子顯微鏡能夠對固體表面過程進行實時原位動態成像,迄今為止光發射電子顯微成像需要在超高真空和高真空環境,與實際過程存在巨大的壓力鴻溝。研發完成后的近常壓光發射電子顯微鏡可以在接近真實反應條件下進行表面成像研究,在催化、能源、納米科學、生物等領域中有著廣泛的應用。

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激光光源電子顯微鏡深紫外固態激光
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