日本三菱重工機床公司將推出微細激光加工機“ABLASER”的新機型——采用第四高頻波（波長266nm）深紫外（DUV）激光器的“ABLASERDUV”。新產品根據DUV激光器的特性改進了聚光光學系統的設計，在保持長焦點深度的同時縮小了集光直徑，從而實現了微細化和高精度化。
ABLASER的特點是，可抑制高峰值輸出功率下加工部分的升華對加工面的影響。與放電加工以及原來的激光加工相比，可獲得更好的尺寸精度和表面平滑性。而且還可加工圓錐狀孔及鼓狀孔，可用于普通切削加工難以處理的高硬度材料及脆性材料的微細加工。
另外，新機型還配備了可連續發射激光的短脈沖DUV激光振蕩器。使用適合DUV激光器的透鏡及棱鏡，并組合可使激光器高速高精度旋轉的光學頭，實現了高精度高品質的微細加工。
最小加工直徑方面，使用綠色激光器（波長532nm）的以往機型為50μm，而新機型為10μm。新機型的最大深寬比為10。聚光斑形狀接近正圓，可實現高精度的開孔加工。此外，DUV激光對多種材料的吸收率都很高，光能也很大，因此還可加工玻璃材料、化合物半導體材料等難加工材料。
各軸的移動量為X300mm×Y200mm×Z100mm，配備A/C軸時為X100×Y100×Z100mm。定位精度為0.001mm，機身尺寸為寬2040×長2620×高2000mm。
三菱重工機床將在“第28屆日本國際機床展（JIMTOF2016）”（11月17～22日于東京有明國際會展中心舉行）上展出這款新機型，并于當天開始銷售。
日本三菱重工微細激光加工機可實現最小10μm開孔的激光加工機
ABLASER的特點是，可抑制高峰值輸出功率下加工部分的升華對加工面的影響。與放電加工以及原來的激光加工相比，可獲得更好的尺寸精度和表面平滑性。而且還可加工圓錐狀孔及鼓狀孔，可用于普通切削加工難以處理的高硬度材料及脆性材料的微細加工。
另外，新機型還配備了可連續發射激光的短脈沖DUV激光振蕩器。使用適合DUV激光器的透鏡及棱鏡，并組合可使激光器高速高精度旋轉的光學頭，實現了高精度高品質的微細加工。
最小加工直徑方面，使用綠色激光器（波長532nm）的以往機型為50μm，而新機型為10μm。新機型的最大深寬比為10。聚光斑形狀接近正圓，可實現高精度的開孔加工。此外，DUV激光對多種材料的吸收率都很高，光能也很大，因此還可加工玻璃材料、化合物半導體材料等難加工材料。
各軸的移動量為X300mm×Y200mm×Z100mm，配備A/C軸時為X100×Y100×Z100mm。定位精度為0.001mm，機身尺寸為寬2040×長2620×高2000mm。
三菱重工機床將在“第28屆日本國際機床展（JIMTOF2016）”（11月17～22日于東京有明國際會展中心舉行）上展出這款新機型，并于當天開始銷售。
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