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 半導體光刻光源的主要生產(chǎn)廠商Gigaphoton株式會社（總公司地址: 栃木縣小山市，董事長兼總經(jīng)理: 都丸仁）發(fā)布消息說：該公司已經(jīng)利用可靠性較高的半導體光刻用準分子激光器成功開發(fā)了一種“GIGANEX”系列退火裝置專用的準分子激光器，該裝置搭載于株式會社V Technology【7717（東證1部）】的微型激光退火裝置上，用于大型液晶制造設備工廠的LTPS（低溫多晶硅）的生產(chǎn)。

近年來，為了將在半導體光刻用準分子激光器領域長期積累的技術應用到其他領域，Gigaphoton一直在推進用于FPD制造領域a-Si（非晶硅）膜的微型激光退火工序的準分子激光器的開發(fā)工作，并將開發(fā)成功的新型準分子激光器“GIGANEX”的試制機交付給了面板生產(chǎn)廠商。 在2016年5月22-27日于美國舉辦的Display Week 2016上展出了試制面板，引起了巨大轟動。

該“GIGANEX”系列退火裝置專用的準分子激光器系V Technology公司生產(chǎn)的裝置的專用機，是作為微型激光退火工序的光源開發(fā)的。微型激光退火裝置的特點是，導入現(xiàn)有的a-Si面板的制造工序后，使a-Si結晶成p-Si（多晶硅），可以制造8K等規(guī)格的高精細面板，這是憑借以前的a-Si工藝所不可能實現(xiàn)的。另外，PLAS還適合于采用以往的激光退火工序難以實現(xiàn)的大型面板規(guī)格，并且也可以適用于制造的50~70英寸的電視面板的大型液晶制造設備工廠。

　 Gigaphoton董事長、總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官都丸仁先生說：“本公司面向新領域的準分子激光器GIGANEX已經(jīng)在FPD業(yè)界登場。能夠為面板生產(chǎn)廠商的LTPS TFT液晶面板的試制成功做出貢獻，我們感到由衷的高興。今后GIGANEX將成為FPD制造領域嶄新的解決方案，我們期待著它能夠為業(yè)界做出貢獻。”

關于GIGANEX
新型準分子激光器“GIGANEX”是Gigaphoton公司充分利用長期以來在半導體光刻用準分子激光器領域積累的技術實力開發(fā)而成，是準分子激光器的一個新品牌，面向FPD制造、柔性設備工藝及光刻以外的半導體制造等領域。該公司將不斷與合作伙伴共同開展創(chuàng)新，探索準分子激光器更深層次的可能性，并提供GIGANEX的解決方案。