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科學家直接用激光在紙上打印多晶硅

星之球激光 來源:科技日報2015-05-15 我要評論(0 )   

 荷蘭代爾夫特科技大學的研究人員開發出一種方法,用單脈沖激光直接在襯底上將液態硅墨水打印成能用在電路中的多晶硅形式。之

    荷蘭代爾夫特科技大學的研究人員開發出一種方法,用單脈沖激光直接在襯底上將液態硅墨水打印成能用在電路中的多晶硅形式。之前襯底上打印硅墨水需要350攝氏度的溫度進行熱退火,這對于很多柔性材料來說都太熱了。新方法完全可以繞過這一步,直接將液態硅轉化成多晶硅。他們的成果發布在《應用物理快報》上。

“實際上非常簡單。”領導這項研究的教授石原慎太郎說,“通過直接在富氧環境中將紙張刮涂液態聚硅烷,然后用準分子激光對涂層直接退火。”激光只持續十幾納秒,幾乎不會對紙張本身產生什么影響。在測試導電性能的時候,石原慎太郎和同事發現,用激光打印的薄膜晶體管比傳統多晶硅導體更具有靈活機動性。

由于快速、靈活的低功率晶體管生產成本非常低,所以這項成果最直接的應用是在可穿戴電子設備上。石原慎太郎認為,未來對提高包括非硅層在內的薄膜晶體管生產工藝的進一步研究將更具應用價值。“這一生產工藝可以擴大應用到生物醫學傳感器和太陽能電池領域,以及可拉伸、甚至可食用的電子產品中。”

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準分子激光3D打印多晶硅
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