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深度解讀

深度解析:大功率飛秒激光器高效助推BC電池量產(chǎn)及盛雄激光器在BC電池刻蝕開(kāi)膜應(yīng)用

2023-11-23 我要評(píng)論(0 )   

在近日,得益于核心大功率飛秒激光器的技術(shù)突破,盛雄激光再次做出升級(jí),推出了雙線4激光器(飛秒/皮秒)大產(chǎn)能機(jī)型,雙線四激光器的結(jié)構(gòu),使其能匹配使用不同的激光器...

近年來(lái),電池技術(shù)研發(fā)一直是光伏行業(yè)發(fā)展的焦點(diǎn),為了追求更高的電池轉(zhuǎn)換效率,BC電池技術(shù)作為當(dāng)前光伏行業(yè)備受關(guān)注的技術(shù)路線,被認(rèn)為是未來(lái)3-5年晶硅電池新的主流產(chǎn)品。近期市場(chǎng)一系列熱議和爭(zhēng)論,BC電池概念不斷升溫。


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來(lái)源:樂(lè)晴智庫(kù)


值得注意的是,盡管BC電池技術(shù)有顯著的優(yōu)勢(shì),但其技術(shù)難題和設(shè)備成本仍是我們當(dāng)前面臨的挑戰(zhàn),BC電池每GW產(chǎn)線需要2-3道激光工藝,設(shè)備總值6000-7000萬(wàn)元。在此背景下,BC電池的核心工藝——激光圖形化加工的重要性尤為凸顯。激光技術(shù)憑借其優(yōu)異性能,將會(huì)參與到BC電池的各種結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)技術(shù)中。飛秒/皮秒激光與BC電池技術(shù)的融合,將成為新一輪光伏電池激光設(shè)備的發(fā)展機(jī)遇。

金字塔尖的BC電池有哪些優(yōu)勢(shì)?

BC技術(shù)早在1975年就有科學(xué)家提出這一概念,而在這48年間,發(fā)展一直較為緩慢,主要受限于太陽(yáng)能電池結(jié)構(gòu)所用的光刻工藝成本非常高,導(dǎo)致普及應(yīng)用受限。而所謂的BC電池,即Back Contact(背接觸)電池,是當(dāng)前各類背接觸結(jié)構(gòu)晶硅太陽(yáng)能電池的泛稱。主要包括IBC、HBC、TBC、ABC、HPBC等。


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來(lái)源:pixabay

BC電池的原理主要是其表面沒(méi)有柵線,正負(fù)極采用交叉排列的方式被制備在電池背面,從而減少電極柵線帶來(lái)的遮光損失,能做到最大限度利用陽(yáng)光。

BC電池結(jié)構(gòu)的三大優(yōu)勢(shì)


01

效率高,提升空間大
電池正面的PN結(jié)和電極柵線轉(zhuǎn)移到電池背面,從而減少電極柵線對(duì)3-5%的入射光遮擋,正面材料能更好發(fā)揮吸光和鈍化性能,提高整體光電轉(zhuǎn)換效率;
02

純凈外觀,提升美感
電池正面沒(méi)有柵線,純凈外觀,提升美感,形成產(chǎn)品差異化,適用于分布式光伏場(chǎng)景;進(jìn)一步完善背面結(jié)構(gòu)提升雙面率后也適用于主流大型電站,市場(chǎng)廣闊。
03

通用性好,提效降本
BC技術(shù)平臺(tái)通用性好,可以結(jié)合各種材料體系(PERC、TOPCON、HJT、疊層電池等)持續(xù)提效降本。

憑借這三大優(yōu)勢(shì),BC組件近期占據(jù)了業(yè)內(nèi)主要組件效率對(duì)比平臺(tái)——Taiyang News的排行榜前列,效率最高達(dá)到24%;國(guó)內(nèi)BC電池組件從2022年開(kāi)始進(jìn)行量產(chǎn),已有40GW+的產(chǎn)能,即將進(jìn)入快速增長(zhǎng)期。隨著龍頭廠商量產(chǎn)推進(jìn),產(chǎn)業(yè)鏈上下游成熟度日漸提高,已經(jīng)有越來(lái)越多的TOPCON和HJT實(shí)力廠商將BC技術(shù)列入研發(fā)和中試計(jì)劃,行業(yè)風(fēng)向明晰。

盡管BC電池一直占據(jù)技術(shù)的金字塔尖,但其以背面大面積復(fù)雜高精度圖形化為核心的工藝門(mén)檻和高昂成本一定程度上制約了這一技術(shù)的普及。激光圖形化處理工藝是當(dāng)下最經(jīng)濟(jì)的加工方法,這也意味著激光加工技術(shù)將成為實(shí)現(xiàn)BC電池量產(chǎn)工藝路上的最大受益者。

BC電池對(duì)激光技術(shù)的要求及挑戰(zhàn)

之所以BC電池工藝一直未能得到普及,主要原因是其工藝流程較為復(fù)雜,關(guān)鍵在于電池背面局域摻雜以及金屬電極。而隨著激光技術(shù)的快速發(fā)展也讓人們看到了其在工業(yè)加工中的潛力。激光憑借精確、快速、零接觸以及良好的熱控制效應(yīng)等優(yōu)勢(shì),已經(jīng)成為了BC電池工藝的主要工藝手段。

目前,主流的TOPCON poly-Si\HJT a-Si材料體系,在制作BC電池結(jié)構(gòu)時(shí)需要對(duì)背面多層nm膜層進(jìn)行多次圖形化刻蝕處理,因此對(duì)處理工藝要求具有nm級(jí)的刻蝕精度和熱擴(kuò)散控制、um級(jí)的圖形控制精度和秒級(jí)的單片處理時(shí)間(處理時(shí)間主要與光斑尺寸、激光頻率成反比)。

BC電池對(duì)激光加工裝備

的核心五大要求


01

光斑尺寸大

光斑尺寸大,需要強(qiáng)大的激光脈沖能量;

02

掃描速度快

掃描速度快,需要使用脈沖頻率高、總功率大的激光器;

03

光斑均勻性好
光斑均勻性好,需要提高激光出光的質(zhì)量,并確保光路系統(tǒng)的精度高;

04

熱影響及損傷低

精度高、損傷低和熱影響小,需要超短激光脈沖、超高峰值功率;

05

成本與升級(jí)
低成本與升級(jí)迭代速度快,要求激光器國(guó)產(chǎn)化率高。

以上1、2點(diǎn)指向大功率高產(chǎn)能,3、4點(diǎn)指向高精度高性能,第5點(diǎn)保證整個(gè)技術(shù)的開(kāi)發(fā)和運(yùn)行效率。從第一性原理出發(fā),激光工藝設(shè)備的核心是激光器,只有自主研發(fā)、技術(shù)及成本可控的大功率激光器才能滿足。


超快激光在BC電池高效刻蝕開(kāi)膜

超快激光是指輸出脈沖寬度在10-12s以下的激光類型,包括皮秒、飛秒、 阿秒等。早期光伏人員嘗試用納秒(10-9s)激光加工,利用激光能量的熱堆積使材料熔化,脈沖持續(xù)時(shí)間長(zhǎng),但由于材料中產(chǎn)生熱堆積傳導(dǎo),加工材料邊緣熱影響大,容易產(chǎn)生殘?jiān)?、碎屑、微裂紋等損傷,無(wú)法滿足BC電池量產(chǎn)工藝的需求。因此這一工藝未能大規(guī)模推廣。但據(jù)筆者調(diào)研發(fā)現(xiàn),目前已有企業(yè)提出了全新的解決方案并取得一定成果。
今年5月在上海SNEC光伏展,東莞市盛雄激光先進(jìn)裝備股份有限公司重磅發(fā)布了90W綠光皮秒大光斑刻蝕設(shè)備,該設(shè)備為雙線雙激光器結(jié)構(gòu),最高產(chǎn)能可達(dá)5000uph。從技術(shù)原理上來(lái)說(shuō),皮秒激光由于脈寬極窄,能夠依靠自身極高的峰值功率,使大部分材料瞬間氣化。與納秒激光的熱加工不同,皮秒激光屬于氣化消融或改質(zhì)加工,熱效應(yīng)及產(chǎn)生熔珠很少,加工邊緣整齊,打破了納秒激光熱影響和熔化區(qū)大的困局。
而在近日,得益于核心大功率飛秒激光器的技術(shù)突破,盛雄激光再次做出升級(jí),推出了雙線4激光器(飛秒/皮秒)大產(chǎn)能機(jī)型,雙線四激光器的結(jié)構(gòu),使其能匹配使用不同的激光器,整機(jī)產(chǎn)能最高可達(dá)10000uph。毋庸置疑,飛秒激光憑借GW級(jí)別的峰值功率,帶來(lái)明顯的非線性吸收效應(yīng),可在波長(zhǎng)吸收特性的基礎(chǔ)上進(jìn)一步壓縮材料吸收深度,實(shí)現(xiàn)nm級(jí)的刻蝕精度和更低的材料損傷控制。
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兩款產(chǎn)品的核心在于自研的紫外/綠光飛秒/皮秒激光器,盛雄激光引進(jìn)國(guó)家級(jí)專業(yè)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)多年研發(fā),該系列激光器在總功率、脈沖能量、性能穩(wěn)定性等方面達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。其綠光飛秒激光器平均功率達(dá)到100W,綠光皮秒激光器達(dá)到200W;紫外飛秒激光器平均功率達(dá)到60W,紫外皮秒激光器達(dá)到100W。核心激光器的持續(xù)升級(jí)使其能輸出更大光斑,做到更高精度、更低損傷的加工效果,助力新一代BC電池達(dá)到更高效率(≥27%)、更高產(chǎn)能(≥10000uph)

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可以說(shuō),飛秒/皮秒激光的BC電池刻蝕工藝,相較于傳統(tǒng)刻蝕設(shè)備具備多項(xiàng)優(yōu)勢(shì),適合大面積膜層去除圖形化工藝制備,可以有效助推BC電池更快進(jìn)入量產(chǎn)。筆者將提升的實(shí)際應(yīng)用效果進(jìn)行了對(duì)比總結(jié)如下:

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圖1 (a)藍(lán)膜片大光斑刻蝕樣品、(b)大光斑相切大面積刻蝕樣品、(c)拋光面膜層大光斑刻蝕樣品 綠光皮秒大光斑刻蝕樣品顯微圖


圖1展示了綠光皮秒激光大光斑(>200um)對(duì)絨面和拋光面的膜層刻蝕樣品顯微圖片,可見(jiàn)整體的形貌規(guī)則完整,內(nèi)部均勻性一致性優(yōu),從拋光面的形貌對(duì)比看,對(duì)膜層下方的硅基底形貌基本沒(méi)有破壞。

皮秒激光在很大程度上已經(jīng)可以滿足BC電池對(duì)圖形化的要求,但是在精度和損傷控制方面,飛秒激光有著更佳的表現(xiàn)。

綠光皮秒飛秒

金字塔熔化明顯

V

S

紫外飛秒金字塔

形貌基本不變


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圖2 綠光皮秒(a)、綠光飛秒(b)、紫外飛秒(c)刻蝕絨面氮化硅膜層SEM圖像

從圖中對(duì)比可以看出飛秒激光對(duì)金字塔的形貌保存有明顯優(yōu)勢(shì)

納/皮秒刻蝕對(duì)

硅基底表面影響大

V

S

飛秒刻蝕對(duì)

底表面影響小

圖片

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圖3 綠光納秒(a)、綠光皮秒(b)、綠光飛秒(c)、紫外飛秒(d)刻蝕拋光面氮化硅膜層SEM圖像

從圖中對(duì)比可見(jiàn)飛秒激光刻蝕對(duì)硅基底表面的影響明顯最小

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a 綠光皮秒大光斑刻蝕效果

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b 綠光飛秒大光斑刻蝕效果

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c 紫外飛秒大光斑刻蝕效果
圖4 TCO膜層綠光皮秒(a)、綠光飛秒(b)、紫外飛秒(c)刻蝕/非刻蝕區(qū)域成分分析對(duì)比

圖4 成分測(cè)試表明皮秒和飛秒激光都實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)膜層的完全去除

納秒激光

殘留顆粒較多

V

S

飛秒激光

表面無(wú)殘留

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圖5 TCO膜層綠光納秒(a)、綠光皮秒(b)、綠光飛秒(c)、紫外飛秒(d)激光刻蝕效果對(duì)比

圖5 對(duì)比顯示綠光納秒刻蝕存在大量殘留顆粒,紫外飛秒比綠光飛秒在邊緣過(guò)渡區(qū)控制上有更好表現(xiàn)

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圖6 拋光面TCO膜層 綠光飛秒樣品EDS成分分析

圖2-6通過(guò)SEM圖像呈現(xiàn)的刻蝕細(xì)節(jié),可以直觀地比較飛秒激光和皮秒激光之間的效果差異。對(duì)比絨面和拋光面對(duì)氮化硅層的刻蝕效果,飛秒激光(500fs)與皮秒激光(10ps)相比,對(duì)刻蝕表面的熔化和形貌改變更小。特別是使用紫外飛秒激光時(shí),其在SEM圖像的微米尺度上幾乎看不到邊緣過(guò)渡區(qū),因此具有最佳的刻蝕效果。

飛秒激光脈沖之所以能在保持能量相當(dāng)?shù)那闆r下將脈寬壓縮到皮秒的1/20,是因?yàn)槠浞逯倒β侍岣吡?0倍,達(dá)到了GW級(jí)別。這種高功率帶來(lái)了更強(qiáng)的非線性吸收,導(dǎo)致材料吸收深度降低,更多的激光能量使材料形成等離子體并被氣化。這一過(guò)程使得刻蝕的熱影響和熔化區(qū)域變小,從而實(shí)現(xiàn)了更平整的刻蝕表面,并顯著減少了殘?jiān)?、熔珠和微裂紋等缺陷。

飛秒激光刻蝕效果四大優(yōu)勢(shì)


01

提升刻蝕精度

高性能飛秒激光,可以將刻蝕精度控制到nm量級(jí),比皮秒提高1-2個(gè)數(shù)量級(jí);邊緣寬度精度控制在um或亞um量級(jí);

02

減少材料損傷

飛秒激光的峰值功率高,且吸收強(qiáng),其刻蝕熱影響區(qū)和熔化深度相比皮秒激光更小,因此對(duì)刻蝕底層的影響更小,可以顯著減少材料損傷,甚至實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷;

03

避免對(duì)底層材料的破壞
采用紫外皮秒/飛秒激光刻蝕透明膜層,可以避免對(duì)底層材料的破壞;

04

高效完成工藝需求

通過(guò)不同激光配合,可以高效完成BC電池各種膜層復(fù)雜圖形制作工藝要求。

對(duì)于電池工藝而言,采用飛秒激光器可以減少材料損傷,簡(jiǎn)化清洗工藝,從而實(shí)現(xiàn)降本增效。高性能的飛秒激光器在保持不低于皮秒的加工速度的同時(shí),能夠更好地確保XBC電池的高效量產(chǎn),使效率高達(dá)26-27%。

盛雄激光以自主研發(fā)激光器為核心整合成套設(shè)備,每GW產(chǎn)線的激光設(shè)備總值可比現(xiàn)有產(chǎn)線設(shè)備降低20-30%。


小      結(jié)

長(zhǎng)久來(lái)看,在BC電池技術(shù)領(lǐng)域,超快激光解決方案能完全滿足工藝要求,并成為推動(dòng)BC電池量產(chǎn)工藝普及的關(guān)鍵點(diǎn)之一,恰如“超快激光的一小步,BC電池的一大步”。當(dāng)然,新產(chǎn)品的問(wèn)世沒(méi)有一蹴而就,皮秒/飛秒激光的解決方案能否讓各大光伏電池制造商認(rèn)可,真正實(shí)現(xiàn)大規(guī)模穩(wěn)定量產(chǎn)也需要時(shí)間驗(yàn)證。

早在2012年,盛雄激光便率先引進(jìn)了全球領(lǐng)先的德國(guó)大功率工業(yè)皮秒以及飛秒激光器,廣泛應(yīng)用于高端精密電子器件、顯示面板等精細(xì)加工,2021年因在超快激光技術(shù)方面的突出成績(jī)獲評(píng)為國(guó)家工信部第一批專精特新小巨人企業(yè)。憑借豐富的技術(shù)積累和市場(chǎng)洞察,盛雄激光決意長(zhǎng)期投入皮秒、飛秒激光器的自主研發(fā)。如今,已基本實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代,年產(chǎn)超過(guò)1000臺(tái),獨(dú)占國(guó)內(nèi)工業(yè)超快激光設(shè)備領(lǐng)域的鰲頭。

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近年來(lái),盛雄激光緊扣產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn),將光伏電池和鋰電池行業(yè)的高端制造需求作為戰(zhàn)略培育項(xiàng)目。通過(guò)自主研發(fā)的大功率(百W級(jí))工業(yè)皮秒、飛秒激光器,為這兩個(gè)行業(yè)帶來(lái)創(chuàng)新價(jià)值。經(jīng)過(guò)近兩年的設(shè)備開(kāi)發(fā)及與重點(diǎn)客戶的工藝合作試用,設(shè)備性能已達(dá)到部分客戶的工藝路線要求。盛雄激光成功推出雙線雙激光器5000uph產(chǎn)能機(jī)型和雙線4激光器10000uph產(chǎn)能的最新機(jī)型。這些大功率激光器相比已有競(jìng)品在產(chǎn)能上具備顯著優(yōu)勢(shì),即將進(jìn)入量產(chǎn)階段。



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盛雄激光,飛秒/皮秒激光器
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