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除了激光，玻璃打孔的方式還有哪些？

制備方法有噴砂、機(jī)械鉆孔、干法刻蝕、濕法腐蝕、聚焦放電等方式，見(jiàn)下表：

方法	原理說(shuō)明
1. 噴砂	高速?lài)娚淠チ项w粒撞擊玻璃表面，反復(fù)沖刷鑿出通孔
2. 機(jī)械鉆孔	使用微型硬質(zhì)鉆頭（如金剛石）機(jī)械旋轉(zhuǎn)鉆入玻璃
3. 干法刻蝕	采用等離子體或離子束對(duì)玻璃進(jìn)行各向異性刻蝕
4. 濕法腐蝕	使用HF化學(xué)蝕刻玻璃內(nèi)部結(jié)構(gòu)
5. 聚焦放電	高壓放電產(chǎn)生局部高溫，擊穿玻璃形成孔洞

使用激光打孔的好處？

1，激光可實(shí)現(xiàn)高精度定位，孔位誤差小；無(wú)需掩膜或鉆頭；能加工微米級(jí)孔徑（<10 μm），也可根據(jù)功率調(diào)整孔深/孔徑比。

2，通過(guò)參數(shù)調(diào)節(jié)、聚焦控制可實(shí)現(xiàn)高密度陣列孔，

3，可實(shí)現(xiàn)批量自動(dòng)打孔，加工速度快；適合大尺寸面板化封裝工藝。

激光燒蝕與激光誘導(dǎo)刻蝕的區(qū)別？

項(xiàng)目	激光燒蝕	激光誘導(dǎo)刻蝕
原理	高能激光直接將材料氣化/熔化燒蝕	飛秒激光在玻璃內(nèi)部誘導(dǎo)結(jié)構(gòu)變化，再通過(guò)化學(xué)腐蝕清除受損區(qū)域
步驟流程	單步完成：激光直寫(xiě)打孔	兩步：①飛秒激光寫(xiě)入軌跡 → ②濕法腐蝕移除變性玻璃
能量特性	通常使用CO?激光、UV激光，熱效應(yīng)明顯	飛秒激光，極短脈沖，無(wú)熱影響區(qū)
玻璃損傷	易產(chǎn)生熱裂紋、邊緣崩裂	幾乎無(wú)熱裂紋，孔壁光滑、結(jié)構(gòu)完整
孔的精度與形狀控制	孔形受限，孔口易塌邊、不垂直	可實(shí)現(xiàn)高深寬比、高密度、垂直孔、異形孔陣列

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