MEMS掃描鏡，也稱為MEMS微鏡，是利用光學MEMS技術，將微光反射鏡與MEMS驅動器集成在一起制造而成的光學MEMS器件。MEMS掃描鏡主要應用在激光技術中，功能是實現激光指向偏轉、圖形化掃描、圖像掃描等，主要產品包括電磁驅動類、靜電驅動類、電熱驅動類、壓電驅動類等。
MEMS掃描鏡具有體積小、掃描頻率高、使用壽命長、功耗低、成本低、可批量生產等優點，可以用于智能手機、平板電腦、可穿戴智能設備、VR/AR、激光投影儀、激光雷達、3D攝像頭、3D掃描儀、激光打印機、汽車抬頭顯示（HUD）、醫療成像設備等產品生產領域，在消費電子、通訊、家電、汽車、儀器儀表、醫療、工業、軍工國防等行業中得到廣泛應用，市場需求不斷增長。
在工業中，隨著制造技術不斷進步，適用于精密加工的激光加工應用需求不斷增長，2020年，我國激光加工設備市場規模達到690億元左右。在自動駕駛領域，激光雷達是實現自動駕駛的核心技術之一，具有不可或缺性，2020年，我國激光雷達市場規模達到180億元左右。僅從工業以及自動駕駛領域來看，激光技術應用規模正在不斷攀升，利好MEMS掃描鏡行業發展。
根據新思界產業研究中心發布的《2021-2025年MEMS掃描鏡行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，在全球市場中，MEMS掃描鏡領先生產商主要有德州儀器、意法半導體、博世、濱松、MicroVision、MEMSCAP等。在我國市場中，MEMS掃描鏡主要研究機構有中科院上海微系統所等，主要生產企業有微奧科技、知微傳感、希景科技等。
MEMS掃描鏡可以承受的激光功率從瓦級、十瓦級到百瓦級、千瓦級，越高級別的MEMS掃描鏡的設計難度、制造工藝要求越高；為滿足不同應用領域需求，提高產品可靠性以及降低生產成本，MEMS掃描鏡的鏡面尺寸、掃描角度、軸數、驅動方式等技術仍在不斷升級。總的來看，在下游產品技術含量不斷提高的情況下，MEMS掃描鏡行業技術壁壘在不斷提升。
新思界行業分析人士表示，我國激光加工、自動駕駛、電子家電等領域激光技術應用需求不斷上升，MEMS掃描鏡行業未來發展前景良好。與國外企業相比，我國MEMS掃描鏡企業在規模、研發、技術等方面存在差距，品牌知名度較低，特別是在高端市場中競爭力弱。經過不斷發展，我國MEMS掃描鏡行業中的優秀企業生產的產品已經可以應用在自動駕駛等領域，但未來還有較大進步空間。
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