中國臺灣純代工廠Visual Photonics Epitaxy Co Ltd（VPEC，全新光電）近日宣布為其VCSEL（垂直腔面發射激光器）生產引進了德國柏林廠商LayTec的原位測量產品。
LayTec的EpiTT/VCSEL包括兩個光纖測量頭：一個用于標準EpiTT，另一個用于光譜反射率傳感（R-VCSEL）。兩個光纖測量頭均可通過EpiCurve測量頭上的轉接法蘭進行連接EpiCurve/VCSEL系統，該項設置可同時集成完整的EpiCurve TT性能和DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置的頻譜監測功能。這款四合一計量工具安裝于Aixtron G3行星式反應器頂部。EpiTT/VCSEL和EpiCurve TT/VCSEL由新型軟件模塊供電，可實現單阱和多阱運行。
為了支持全球3D傳感和其它快速增長的應用對VCSEL芯片的需求，LayTec將VCSEL Add-On用于其EpiTT和EpiCurve TT系統，提供了額外的原位光譜反射率傳感，并可在GaAs基和InP基近紅外/紅外（NIR/IR）VCSEL工藝波長范圍內進行定制，實現這類高度復雜的多層結構器件的高良率制造。
VCSEL Add-On也可作為現有EpiTT或EpiCurve TT系統的升級版本。憑借配備先進的實時分析算法，除了EpiTT的晶圓溫度和生長速率監測，以及EpiCurve TT的晶圓彎曲測量外，它還能夠在VCSEL外延過程中監測DBR（分布式布拉格反射鏡）阻帶和腔傾角位置。
蘋果iPhone X紅外點陣投影器中的VCSEL芯片
來源：《蘋果iPhone X紅外點陣投影器》
“VPEC為VCSEL晶圓制造選擇了LayTec市場領先的原位測量技術，作為實現我們高標準的品質和良率的基本要素，” VPEC高級副總裁Neil Chen評價說，“將現有的晶圓溫度、晶圓彎曲和生長速率控制，結合新的頻譜監測性能，是VCSEL代工廠工藝轉移、快速調整配方和擴大規模的關鍵。”
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