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能源環境新聞

CMOS藍寶石上硅工藝產生寬中紅外超連續譜

星之球科技 來源:激光世界2016-07-07 我要評論(0 )   

硅除了在1.5 m左右的通信波段具有眾所周知的光電子能力、以及絕緣體上硅(SOI)形式在2.5 m波段的功能性外,目前它又進入了一個新的前沿領域:藍寶石上硅(SOS)納米線...

       硅除了在1.5 μm左右的通信波段具有眾所周知的光電子能力、以及絕緣體上硅(SOI)形式在2.5 μm波段的功能性外,目前它又進入了一個新的前沿領域:藍寶石上硅(SOS)納米線已被用于展示從1.9 μm到6 μm以上、倍頻程中紅外(mid-IR)超連續譜的產生。
  這種寬帶超連續譜光源通過互補金屬氧化物半導體(CMOS)工藝實現,是澳大利亞悉尼大學光學系統超高帶寬設備中心(CUDOS)、麥考瑞大學和Silanna Semiconductor公司、澳大利亞國立大學CUDOS激光物理中心、法國國家科學研究中心Institut des Nanotechnologies de Lyon以及澳大利亞皇家墨爾本理工大學的研究人員的合作成果。該研究團隊表示,這種中紅外超連續光源是“迄今為止在任何硅平臺上產生的光譜最寬、波長最長的光源。”
  緊湊型廉價中紅外光源正變得越來越重要,尤其是在十億分之一(ppb)甚至萬億分之一量級的分子傳感應用中。雖然使用硫系玻璃光纖已經展示了達到13 μm的超連續譜產生,但是與CMOS兼容的SOS平臺提供可擴展性,并有望實現新型非線性集成(具有成本效益)的硅器件,例如這些工作于遠遠超出傳統硅窗口的中紅外超連續譜光源。
  超連續譜SOS
  首個SOS波導于2010年制成,其在4.5 μm處的損耗為4.3 dB/cm。為了避免通常在2.5 μm以上波段硅中產生的更高的多光子吸收,研究人員設計了SOS納米線,在2.4 μm×0.48 μm的納米線上使泵浦波長的色散和光學損耗最小化。通過采用化學氧化和氧化物退除的方法處理納米線,以降低表面粗糙度,同時使用相對較寬的納米線來提升模式約束,將4 μm處的傳輸損耗最小化到1.0±0.3 dB/cm的水平。
  為了產生超連續譜,將可調諧光參量放大器(OPA)輸出的波長3.7 μm、脈寬320 fs、重復頻率20 MHz的光束輸入至納米線的TE模,準直后傳送至單色儀,利用1.5~4.8 μm的硒化鉛(PbSe)和4~6.5 μm的碲鎘汞(MCT)兩種探測器進行探測。對于峰值功率在200 W~2.5 kW之間的耦合輸入,輸入功率為1.82 kW時,最寬的連續輸出光譜(-30dB帶寬)跨越了從1.9~5.5 μm的1.53個倍頻程。甚至在遠高于-45 dB的本底噪聲水平上,產生的光波長超過6 μm(見圖1)。
  圖1:基于藍寶石上硅(SOS)的超連續光源的功率輸出,輸入功率水平在200 W~2.5 kW之間。
  為了在更寬的帶寬內獲得更平坦的色散輪廓,可以構造基于SOS的柱狀波導。此外,預計通過減少硅/藍寶石界面的晶格失配,可以改進SOS納米線的外延生長,從而最小化近紅外損耗。研究人員表示,這些改進將有可能使用單根納米線,在硅的整個透明光譜區域內展示超連續譜產生。
  “藍寶石上硅平臺為在單個設備上集成電子和光子學鋪平了道路,”悉尼大學CUDOS 的Neetesh Singh說,“這將促成從近紅外到中紅外范圍的電致可調諧、芯片上、線性和非線性超寬光學操作。”

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