深紫外全固態激光源指輸出波長在200納米以下的固體激光器，與同步輻射和氣體放電光源等現有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。
中科院自上世紀90年代初開始研究深紫外非線性光學晶體和激光技術，經過20多年努力，在國際上首次生長出可直接倍頻產生深紫外激光非線性光學晶體，并發明棱鏡耦合技術，率先發展出實用化的深紫外固態激光源，使中國成為當今世界上唯一掌握深紫外全固態激光技術的國家。
中國科學家利用獨創、獨有的深紫外技術和深紫外激光非線性光學晶體，已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發射電子顯微鏡等8臺深紫外固態激光源前沿裝備，均為當今世界所獨有的科研利器，居深紫外領域國際領先地位。
總投資1.8億元人民幣的深紫外固態激光源前沿裝備研制項目，2008年啟動實施以來進展順利，現已研制成功的8臺前沿裝備還包括深紫外激光光化學反應儀、深紫外激光光致發光光譜儀、深紫外激光自旋分辨角分辨光電子能譜儀、深紫外激光原位時空分辨隧道電子譜儀、基于飛行時間能量分析器的深紫外激光角分辨光電子能譜儀等國際領先水平的儀器設備，另外1臺光子能量可調深紫外激光光電子能譜儀研制工作也已基本完成，正在調試之中，多臺儀器設備已初步用于前沿科學研究，并表現出優異的性能。
中科院整合麾下理化技術研究所、物理研究所、大連化學物理研究所、半導體研究所科研資源，在財政部專項資金支持下，設立深紫外固態激光源前沿裝備研制項目，設計出從“材料－器件－裝備－科學研究”完整研發體系。在成功研制8臺重大儀器設備的同時，還搭建有深紫外非線性晶體和器件研制平臺、深紫外固態激光器研發平臺和深紫外應用儀器開發平臺，核心器件深紫外晶體及器件已實現小批量生產，為儀器設備后續發展尤其是產業化工作奠定了基礎。
深紫外固態激光技術突破是中國新型科學儀器研發的難得機遇。中科院在前期工作基礎上，正組織專家進一步調研，一方面，將研制成功的8臺儀器設備中技術成熟、具有市場潛力的發展為商品化儀器設備，推動中國高端科學儀器產業化；另一方面，進一步整合人才、技術力量，繼續研發新型深紫外科學儀器和設備。
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