在當今社會中，制造商總是在尋找那些更低能耗和更高效率的設備。來自IMS研究所的Barry Young對此做了統(tǒng)計，預計2010年全球發(fā)光二極管（LED）的需求將增長61%，手機市場是很大的觸發(fā)因素。大面積的背光LED電視市場正在迅速擴大，LED也被廣泛應用于投影儀、手電筒、汽車尾燈和頭燈、普通照明等市場。固態(tài)白光源可以通過混合紅光、綠光、藍光LED來實現(xiàn)，或者通過使用磷光材料將單色藍光或紫外LED轉換成寬光譜的白光。
隨著LED產量的增加，LED制造商正在尋找可以優(yōu)化劃片寬度、劃片速度與加工產量的新工藝進展。新型LED激光剝離（LLO）和激光晶圓劃片設備給LED制造商提供了高性價比的工業(yè)工具，可以滿足日益增長的市場需求。
高亮度垂直結構LED
通常情況下，藍光/綠光LED是由幾微米厚的氮化鎵（GaN）薄膜在藍寶石襯底上外延生長形成的。 一些LED的制造成本主要取決于藍寶石襯底本身的成本和劃片—裂片加工成本。對于傳統(tǒng)的LED倒裝橫向結構，藍寶石是不會被剝離的，因此，陰極和陽極都在同一側的氮化鎵外延層（epi）（圖1）。
圖1. 傳統(tǒng)的橫向結構的藍光LED。 MQW =多量子阱。
這種橫向結構對于高亮度LED有幾個缺點：材料內電流密度大、電流擁擠、可靠性較差、壽命較短；此外，通過藍寶石的光損很大。
設計人員通過激光剝離（LLO）工藝可以實現(xiàn)垂直結構的LED，它克服了傳統(tǒng)的橫向結構的各種缺陷。垂直結構LED可以提供更大的電流，消除電流擁擠問題以及器件內的瓶頸問題，顯著提高LED的最大輸出光功率與最大效率（圖2）。
圖2.垂直結構的藍光LED
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