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從目前機械加工的工藝水平來看，超精密加工一般指加工精度<0.3μm，表面粗糙度Ra值<0.03μm的加工。

同時也包含加工尺寸在微米級的微細加工。

精密、超精密加工是個相對概念，而且隨著工藝水平的普遍提高，不同年代有著不同的劃分界限，

但并無嚴格統(tǒng)一的標準。

隨著科學技術的發(fā)展，特別是許多高新科技的發(fā)展，使超精密加工的市場需求呈現(xiàn)出如下的特點：

要求超精密加工的機電產(chǎn)品元器件越來越多，不僅有傳統(tǒng)的光學零件、超精密加工塊規(guī)等，

而且有現(xiàn)代IT中廣泛采用之大規(guī)模集成電路的各種芯片，

計算機用的磁盤、光盤，復印機用的磁鼓；核聚變用的激光反射鏡；導彈制導系統(tǒng)用的激光反射鏡；

導航用的陀螺儀腔體；氣浮和靜電陀螺儀的球狀支承；

造衛(wèi)星姿態(tài)控制用的過半球體；衛(wèi)星、航天器上各種儀器儀表用的真空無潤滑軸承；

全球定位系統(tǒng)（GPS）和電子對抗技術中用的砷化鎵半導體大規(guī)模集成電路；

紅外夜視設備、大型天文望遠鏡和太空望遠鏡中用的球面和非球面光學透鏡，以及多種軍、

民使用的高新科技產(chǎn)品中的精密零部件等。

相同品名的元器件要求超精密加工的數(shù)量越來越大。例如有些品名，以前只是單件或小批生產(chǎn)，

用于實驗性的產(chǎn)品上，現(xiàn)在則要求批量乃至大批量規(guī)模生產(chǎn)，

用在軍、民使用的高新科技產(chǎn)品上，如大規(guī)模集成電路用的硅片、磁盤、磁鼓等，

年需求量數(shù)以百萬、千萬件計。