相干公司的準分子EnergyMax能量探頭是特別為波長在193nm的ArF激光器和波長為248nm的KrF激光器設計的。
準分子EnergyMax系列精度高，有效探測面積大（最大口徑可達50mm），并且采用新型涂層，
從而大大提高了長期抗損傷能力。
準分子激光EnergyMax探頭的主要特點
- 獨特的MaxUV涂層，提高抗損傷閾值和長期抗紫外照射能力，提高響應工作頻率
- 光譜測量范圍190nm~2.1μm
- 能量測量范圍 50μJ~250mJ
- 最高響應頻率: 400Hz
- 自動波長補償功能
- 自動溫度補償功能
產品的詳細資料
準分子EnergyMax系列有4個不同型號，其中2個型號的最佳工作波長為193nm，另外2個型號的最佳工作波長
為248nm（盡管這4種型號都能在紫外，可見和近紅外精確測量）。這些探頭都采用相干公司獨特的MaxUV涂層，
大大提高了深紫外區的抗損傷閾值和抗紫外長期照射能力，同時也將最高響應頻率提高到400Hz。
準分子EnergyMax系列可自動對環境溫度和波長進行補償，以獲得更精確的數據讀取。這系列探頭
與相干公司的LabMax-TOP, 3sigma, FieldMaxII-TOP, FieldMaxII-P, EPM1000和EPM2000等能量表頭兼容。
這兩類探頭匹配可選的散熱片后可以承受更高的能量/平均功率。這些散熱片可分別將J-50MB-YAG
和J-25MB-IR可承受平均功率提高到48W和62W水平。
所有準分子激光探頭匹配可選的散熱片后都可以承受更高的能量/平均功率。這些散熱片可分別將
J-25MUV-193 & -248和J-50MUV-193 & -248可承受平均功率提高到36W和43W水平。（兩者均在波長193nm情況下）。
下表列出了具有可拆卸散熱片的能量探頭能夠承受的最高平均功率。
|
探頭型號 |
口徑(mm) |
波長(nm) |
無散熱片 (W) |
小散熱片 (W) |
中散熱片 (W) |
大散熱片 (W) |
|
J-25MUV-193 |
25 |
193 |
5 |
10 |
15 |
NA |
|
J-25MUV-248 |
25 |
248 |
5 |
10 |
16 |
NA |
|
J-50MUV-193 |
50 |
193 |
18 |
NA |
NA |
43 |
|
J-50MUV-248 |
50 |
248 |
15 |
NA |
NA |
36 |
所有的EnergyMax探頭均配以3英寸高的標準底座。我們也有2英寸的底座（產品號1135565）。可選，
如果您需要匹配2英寸的底座，請與相干公司的銷售代表特別說明。
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