近日，Gigaphoton公司在LPP光源技術的研究上取得重大的突破，實現了高輸出低成本的穩定LPP光源，研制出了輸出功率達20W的LPP EUV激光光源，將進一步推動著極EUV光源的發展。
Gigaphoton公司18日宣布已經成功將激光產生等離子體（LPP）EUV光源產品的輸出端等效最大功率推進到了20W水平。該公司達成這個目標所使用的方法是應用固態預脈沖激光器，以100kHz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標。采用這種方法，該公司在光源運行過程中達成了平均10W水平的輸出功率。由于目前普遍認可的預生產型商用EUV光源輸出功率級別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標志著預生產極EUV光源發展過程中的一個新里程碑。
Gigaphoton公司自2002年起便專注于高輸出功率，經濟型LPP光源的研發。幾年來該公司研發出了許多相關的技術，包括錫液滴尺寸低于20μm水平的按需式錫液滴生成技術，以及融合了短波長固態預脈沖激光器技術，CO2激光技術，以及磁場式雜質消除技術在內的LPP EUV激光光源技術。
據了解，其獨特的LPP光源技術可通過按需使用超小錫液滴、減少停機時間和成本，從而擴展液滴發生器的壽命。此外，已通過優化組合光源達到高EUV輸出轉換效率。為了使集光反射鏡的壽命最大化，使用一個超導磁體來生成強大的磁場，引導錫液滴熱膨脹所產生的不需要雜質流向錫捕集器，以進一步減少成本和停機時間。
Gigaphoton公司的CEO兼總裁Hitoshi Tomaru指出，“事實上，我公司獨特的LPP光源技術現在能夠實現一定程度的EUV輸出，足以媲美現有試制性能的EUV輸出，這一事實表明我公司的高輸出、低運行成本、穩定LPP光源等見解的確可以實現。”
LPP EUV激光光源成功實現了20W的功率輸出，這對Gigaphoton公司是重要的進步，不僅更加精湛了公司的LPP光源技術，并且憑借著先進的技術，其產品必將在市場上贏得主流地位，為企業的發展注入了更新鮮的活力。
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