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                           傳感器光路效果圖

基于TDLAS（可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜）技術(shù)的氣體含量實(shí)時(shí)在線式監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是通過(guò)氣體對(duì)特定波長(zhǎng)的激光吸收，測(cè)量對(duì)應(yīng)氣體的含量。它是先進(jìn)的高靈敏度、快速響應(yīng)的新一代氣體監(jiān)測(cè)技術(shù)。

　　該技術(shù)具有測(cè)量精度高，可達(dá)ppm（百萬(wàn)分之一）量級(jí)；準(zhǔn)確度高，可檢測(cè)混合氣體中的特定成分氣體；響應(yīng)速度快，可達(dá)毫秒響應(yīng)量級(jí)；使用光學(xué)方式檢測(cè)，可抗干擾和防爆特性，可用于易燃易爆氣體監(jiān)測(cè)。掌握了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，就可定制化生產(chǎn)，滿足不同行業(yè)氣體監(jiān)測(cè)需要。

　　本項(xiàng)目由中國(guó)航天空氣動(dòng)力技術(shù)研究院北京航天易聯(lián)科技發(fā)展有限公司、中國(guó)科學(xué)院電工研究所、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所聯(lián)合研制。半導(dǎo)體擁有半導(dǎo)體激光器研制和光電子封裝技術(shù)優(yōu)勢(shì)、電工所擁有結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、電子電路優(yōu)勢(shì)，易聯(lián)公司擁有航天軍工工藝、產(chǎn)品化、市場(chǎng)推廣的優(yōu)勢(shì)，三家優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，推動(dòng)氣體傳感器的研制和產(chǎn)品化。

　　該技術(shù)有廣闊的應(yīng)用前景。其中基于TDLAS技術(shù)的濕度（水汽）傳感器是國(guó)內(nèi)目前唯一的基于該技術(shù)的可產(chǎn)品化的濕度傳感器，能夠解決現(xiàn)有濕度計(jì)存在的低溫濕度無(wú)法測(cè)量、高濕度測(cè)量不準(zhǔn)確等問(wèn)題，可廣泛應(yīng)用在氣象監(jiān)測(cè)、制藥、煙草、電子工業(yè)、食品加工、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域；同時(shí)基于該技術(shù)的甲烷等易燃易爆氣體傳感器具有本質(zhì)安全性，是易燃易爆、有毒有害等危險(xiǎn)氣體監(jiān)測(cè)的最佳解決方案。基于該技術(shù)的其他氣體傳感器（甲烷、HF、HN3、NOx等）還可應(yīng)用在環(huán)境監(jiān)測(cè)、汽車(chē)制造和航空航天、各種原材料制造、化學(xué)制造等行業(yè)，具有重大社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益。