深紫外全固態激光器，是指激光波長在200nm以下的固體激光器，與同步輻射和氣體放電光源相比，其具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。深紫外激光器光源對于現代科技發展非常重要，例如193nm光刻技術、納米微加工技術、原子和離子的激光冷卻技術、以及各種現代化儀器。長期以來，深紫外激光器(<200nm)一直缺乏實用化和精密化，因此制約了深紫外波段科學儀器和前沿科研的發展。
20世紀90年代初，中國科學院開始組織力量研究深紫外非線性光學晶體和激光技術。經過20多年努力，我國科學家在國際上首次實現KBBF晶體倍頻輸出深紫外激光，并發明棱鏡耦合技術，最終開發出實用化的深紫外固態激光器，使中國成為當今世界上唯一掌握深紫外全固態激光技術的國家。基于此項技術，我國科學家已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發射電子顯微鏡等深紫外激光器系統的前沿裝備，均為當今世界所獨有的科研利器，居深紫外領域國際領先地位。
深紫外固態激光技術的突破為中國新型科學儀器的研發提供了難得機遇。“十二五”規劃中，旨在提高我國科學儀器設備自主創新能力，支撐科技創新、服務經濟和社會發展的國家重大科學儀器設備開發專項已經啟動。這一專項的實施，有望改變我國在高端科研儀器設備大多依靠進口的尷尬局面。
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