準(zhǔn)分子激光器是氣體激光器家族中一名非常特殊的成員，其工作物質(zhì)由惰性氣體（氖、氬、氪、氙等）和鹵族元素（氟、氯、溴等）組成，在基態(tài)，呈兩種原子氣體混合狀，被短脈沖電流激發(fā)到激光高能級時生成化合物，化合物的每個分子由兩種氣體各貢獻1個原子組成，這就是“準(zhǔn)分子”這一名稱的來歷。
準(zhǔn)分子激光器最常見的有氟化氬（arf）、氟化氪（krf）、氯化氙（xecl）等，這類激光器一般以短脈沖方式工作在紫外波段。
第一臺準(zhǔn)分子激光器于1970年誕生，它利用強電子束激勵液態(tài)氙，獲得氙準(zhǔn)分子的激射作用，激光波長為1720埃。隨后，氣相氙分子以及其它稀有氣體準(zhǔn)分子，稀有氣體氧化物準(zhǔn)分子（氧化氪、氧化氙、氧化氬等），金屬蒸氣-稀有氣體準(zhǔn)分子（氙化鈉等）；稀有氣體單齒化物準(zhǔn)分子（氟化氙、氟化氬、氟化氪、氯化氙、溴化氙、碘化氙、氯化氪等），金屬齒化物準(zhǔn)分子（氯化汞、溴化汞等）和金屬準(zhǔn)分子（鈉準(zhǔn)分子等）陸續(xù)誕生。準(zhǔn)分子激光物質(zhì)具有低能態(tài)的排斥性，可以把它有效地抽空，故無低態(tài)吸收與能量虧損，粒子數(shù)反轉(zhuǎn)很容易，增益大，轉(zhuǎn)換效率高，重復(fù)率高，輻射波長短，主要在紫外和真空紫外（少數(shù)延伸至可見光）區(qū)域振蕩，調(diào)諧范圍較寬。它在分離同位素，紫外光化學(xué)，激光光譜學(xué)，快速攝影，高分辨率全息術(shù)，激光武器，物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究，光通信，遙感，集成光學(xué)，非線性光學(xué)，農(nóng)業(yè)，醫(yī)學(xué)，生物學(xué)以及泵浦可調(diào)諧染料激光器等方面已獲得比較廣泛的應(yīng)用，而且可望發(fā)展成為用于核聚變的激光器件。
激光介質(zhì) ArF KrF XeCl 波長（nm） 193 248 308 最大脈沖能量@1Hz (mJ) 200/500 300/800 220/500 脈沖寬度（ns） 15-30 脈沖-脈沖穩(wěn)定性（%） 3-5 光斑尺寸（mm） 10×25 最大重復(fù)頻率（Hz） 25 尺寸（長×寬×高）（mm） 1260 mm x 350 mm x 700 mm 重量（kg） 200 所需電源 380V/50Hz 功耗（kW） 4.2
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