7月3日，諾發公司宣布其已向旭瑞光電公司提供了一臺VECTOR（R）型等離子增強化學氣相沉積（PECVD）設備。旭瑞光電是一家位于佛山的合資公司，其股東之一是世界領先的高亮度LED生產企業——美國旭明公司（SemiLEDs Corporation ）。這臺新的VECTOR將被安裝在佛山旭瑞光電的生產車間里，用于生產金屬基垂直結構高效LED。 每晶片成本和每流明成本是驅動主流照明市場接受LED技術的關鍵因素。現有LED制造技術，主要是基于2—4英寸不同直徑的藍寶石襯底進行外延生長，這種方法本身生產效率低、能量消耗大，制備一片2英寸藍寶石襯底LED，平均消耗的電能高達200kWh。 與傳統LED鍍膜設備相比，VECTOR系統在行業處于領先地位，因為它擁有寬的工藝窗口和高產能，使LED的每晶片成本得以下降。VECTOR LED鍍膜系統中有一個多晶片載體裝置，能夠放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，產能巨大，且沉積的各尺寸薄膜質量和均勻性都很好，此外，VECTOR LED系統是在較低溫度下沉積薄膜，這與傳統LED用PECVD設備相比，生產過程易于控制且高效節能。 “這種新型VECTOR LED鍍膜系統是LED芯片制造產業中最具生產力的PECVD系統” 諾發電介質和PECVD事業部高級副總裁兼總經理Mr. Sesha Varadarajan表示，“我們非常高興VECTOR LED系統，包括我們的光阻去除、物理氣相沉積、電鍍以及晶片拋光和減薄系統解決方案，能夠進入旭瑞光電現有的LED芯片生產線中”。 “我們一直在努力提高產能和能效，所以我們佛山旭瑞的工廠里采用VECTOR LED系統”旭瑞光電公司總經理Mr. Marco Mora說，“諾發公司在中國的基礎架構和服務能力，讓我們相信，選擇諾發作為旭瑞光電的供應商是非常明智的。”
轉載請注明出處。
相關文章
熱門資訊
精彩導讀
關注我們
