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1mm/s切穿11mm碳化硅!光至科技QCW光纖激光器實現高質量精密切割

激光制造網 來源:光至科技2025-07-09 我要評論(0 )   

碳化硅(SiC)是一種由硅(Si)和碳(C)組成的化合物半導體材料,因其超高硬度(莫氏硬度9~9.5)、優異的熱導率(120~270 W/m·K)及高溫穩定性(熔點約2730°C),在...

碳化硅(SiC)是一種由硅(Si)和碳(C)組成的化合物半導體材料,因其超高硬度(莫氏硬度9~9.5)、優異的熱導率(120~270 W/m·K)及高溫穩定性(熔點約2730°C),在新能源汽車、電子制造、航空航天等領域被廣泛應用。然而,這些卓越特性也給加工環節(尤其切割)帶來巨大挑戰。能否實現高精度、高效率、低損傷(邊緣崩缺小、熱影響區可控)的切割,成為推動SiC器件產業化落地的關鍵因素之一。


一、水導激光切割 & QCW激光切割

水導激光切割與QCW激光切割是兩種各具優勢的先進激光加工技術,適用于不同場景:


水導激光切割:通過高壓水束引導激光進行切割,利用水的冷卻作用減少熱影響區,切割質量高,尤其適合對碳化硅這類高硬度、高導熱材料進行高精度加工,能夠避免熱損傷和微裂紋,適用于半導體晶圓、精密光學元件等對表面質量要求極高的小批量、高附加值產品。其設備成本高、維護復雜、切割速度相對較慢。


QCW激光切割:利用高能脈沖光束實現非接觸式去除材料,兼具高峰值功率和高平均功率,切割效率高、精度高、靈活性強,對碳化硅的熱損傷小,且維護成本低。適合大規模量產場景,如碳化硅基板、功率器件等的加工,能夠滿足快速、高效、高質量的生產需求。


兩種加工方式差異


二、光至科技QCW光纖激光器實現高質量精密切割


光至科技 QCW 光纖激光器憑借優異的光束質量穩定的輸出功率以及高峰值功率特性在碳化硅切割領域表現出色,通過小脈寬高峰值切割優化路徑動態調焦等工藝手段,成功攻克了高導熱、高硬度材料切割中的難題。


YFQCW-450-SM


工藝驗證:不同厚度碳化硅切割實例


1、2mm碳化硅切割

加工圖形:六邊形,外接圓φ25mm,中心圓孔為φ5mm

加工效率:切割速度約為3mm/s,單件總加工時間2分30秒

加工效果:切縫均勻、無明顯崩邊或熔瘤,邊緣整潔


2、4mm碳化硅切割

加工圖形:外形尺寸為38 mm × 50 mm,內孔尺寸為8 mm × 18 mm

加工效率:切割速度為2 mm/s,總加工時間約13分鐘

加工效果:切割面穩定,邊緣整齊,正反面質量一致


3、7mm碳化硅切割

加工圖形:外形尺寸為15 mm × 25 mm,孔徑為6 mm

加工效率:加工速度保持在1 mm/s,實現厚件高效加工

加工效果:錐度小,可切小孔


4、11mm碳化硅切割

加工圖形:外形尺寸為100mm直線

加工效率:加工速度依然保持在1 mm/s,實現厚件高效加工

加工效果:直線切割,斷面垂直

三、碳化硅切割工藝總結


通過大量實測與工藝優化,光至科技總結出以下關鍵經驗:


激光器性能要求:由于碳化硅材料導熱率高,激光器需要具備高峰值、大能量和小脈寬的特性。


切割路徑優化:通過優化的切割路徑,可有效擴寬割縫,從而提高切割效率并改善加工質量。


厚材加工方式:對于較厚的碳化硅材料,可采用雙面切割工藝,減少正面進刀次數,避免因進刀次數過多導致焦點位置變化,進而引發材料表面崩邊等問題。


四、選擇光至科技QCW光纖激光器的五大理由


  • 高效率 :相比水導激光切割,QCW光纖激光器切割速度更快,可大幅縮短加工周期,提高生產效率,尤其適用于大規模生產。


  • 高精度與低損傷 :精準的能量控制和動態調焦技術,確保切割邊緣整齊、光滑,無明顯崩邊或熔瘤,熱影響區小,滿足高精度加工需求。


  • 高可靠性 :光至科技憑借深厚的技術積累和嚴格的質量控制,確保 QCW 激光器性能穩定可靠,連續運行時間長,減少停機維護時間,保障生產的連續性。


  • 高靈活性 :非接觸式加工方式,可輕松應對復雜圖形和異形切割,適應多樣化的產品設計需求,為產品創新提供更多可能性。


  • 低成本 :QCW光纖激光器無需耗材、免維護,成本遠低于水導系統,長期使用成本優勢明顯,助力企業降本增效。


碳化硅代表著未來高性能材料的發展方向,其高效精密加工能力是實現產業升級的核心環節。光至科技堅持以應用需求為導向,持續優化QCW激光器的產品性能與工藝數據庫支持,致力于為客戶提供高效率、高可靠性、低成本的激光加工解決方案,加速行業從“可加工”走向“優加工”,助力產業高質量發展。

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