背景
Yagishita Giken的YGN－590－MT多芯光纖連接器檢測機可根據(jù)待測光纖連接器的類型設(shè)置預(yù)先確定的參考值，然后進行高精度的尺寸測量。
該機器的高分辨率攝像機和光學(xué)系統(tǒng)拍攝的圖像的再現(xiàn)性依賴一種獨特的圖像處理算法，而內(nèi)置的激光干涉測量方案用于確保機器行程的準確性。機器的XYZ自動樣品臺和光照強度均通過電腦進行控制。
Yagishita Giken機器檢測的光學(xué)通信組件的類型通常包括MT插芯、MTF光纖模組和MPO。為了最大限度降低連接損耗并保持信號完整性，這些組件的制造過程均遵循著極嚴格的公差。
YGN－590－MT已獲得日本國內(nèi)外光學(xué)通信組件制造商的一致認可，是世界上為數(shù)不多的幾種能夠以高精度測量波導(dǎo)間距偏差和形狀的系統(tǒng)之一，其特殊的光學(xué)系統(tǒng)也有助于提升放大倍率。
挑戰(zhàn)
YGN－590－MT由一個主機單元和一個控制單元組成。主機單元包含一個支架、測量單元、XYZ自動樣品臺／工件承載單元和一個光學(xué)觀察單元。控制單元由電腦主機、機架、驅(qū)動器盒和激光尺組成。
支架上裝有測量單元，同時具備減震和連續(xù)供氣自動調(diào)平功能以保持穩(wěn)定性。測量單元帶有一塊花崗巖底板，用于最大限度增加剛性、減少振動，從而確保測量穩(wěn)定性。
底板上安裝有XYZ自動樣品臺、0．01 μm分辨率激光尺、顯微鏡和光線傳輸單元。測量單元的外罩可防止自動操作期間光線從上方滲透進入機器內(nèi)部。XYZ自動樣品臺的每根軸的行程距離分別為X軸100 mm、Y軸和Z軸4 mm。
機器的電機上裝備有編碼器，有助于降低理論驅(qū)動值與實際移動量之間的誤差。每個樣品臺都采用獨立的結(jié)構(gòu)，排列順序為ZYX。激光尺使用的兩組光學(xué)鏡安裝在X軸的最頂部，用于檢測水平行程距離、垂直位移和Z軸移動。
然而，機器現(xiàn)有的激光干涉測量裝置的測量精度有限，難以滿足未來新一代光學(xué)通信組件提出的更高的校直精度要求。
解決方案
傳統(tǒng)的激光干涉測量方案需要用到激光頭、干涉鏡、反射鏡和探測器等，這些組件都是彼此獨立的。激光光束通過由分光鏡和光束轉(zhuǎn)向鏡組成的復(fù)雜網(wǎng)絡(luò)在這些組件之間傳輸，因此整個系統(tǒng)龐大且復(fù)雜，安裝、準直和維護的過程困難且耗時。
使用創(chuàng)新的雷尼紹RLE10激光尺，這類系統(tǒng)缺點便可迎刃而解。該激光尺的先進技術(shù)可最大限度減少多種來源的誤差，從而實現(xiàn)更高的測量精度。
RLE10使用光纖將激光光束直接傳輸?shù)竭h距離的發(fā)射裝置，該裝置也具有所有必需的干涉鏡組和干涉條紋探測器。這一方法可最大限度減少系統(tǒng)復(fù)雜性和集成時間。
由于激光干涉測量所使用的波長決定了可以實現(xiàn)的測量分辨率，因此憑借633 nm的工作波長，RLE10可輕松實現(xiàn)固有的高分辨率，且電子細分誤差或插值誤差可降至最低。
結(jié)果
集成雷尼紹RLE10激光尺后，機器校直精度、安裝便利性和系統(tǒng)穩(wěn)定性均得到提升。YGN－590－MT多芯光纖連接器檢測機的定位精度因此顯著提高，分辨率從0．1 μm提升至0．01 μm。
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