今朝SPI公司的產物重要分為連續光纖激光器和脈沖光纖激光器兩大類。連續光纖激光器包含25～400W系列產物，脈沖光纖激光器包含10～40W系列產物。連續光纖激光器重要用于硅片切割；脈沖光纖激光器重要用于硅片劃刻、打孔和打標等。G3脈沖激光器——與基于Q開關技能的光纖激光器分歧的是，SPI公司的10～40WG3（第三代）脈沖激光器采納主振蕩功率放大（MOPA）技能，因為其輸入頻次是由種子光的頻次決議的 ，而種子激光的頻次可經由過程電調制的方法直接節制，是以該激光用具有連續輸入（當種子光的 輸入為連續輸入時）和脈沖輸入（當種子光的輸入為脈沖輸入時）兩種操縱形式。在脈沖模
式下，40W脈沖激光重視頻次范疇為1～500kHz，峰值功率可達20kW，單脈沖能量可達1.25mJ，脈沖寬度可達10nm，而且內置25種波形可供抉擇。均勻功率、峰值功率、脈沖頻次和脈沖寬度等參數可按照利用需要調解，從而極大地拓寬了G3激光器在硅片加工范疇的利用范疇，極大地進步了加工服從。R4連續激光器體系——SPI公司的連續激光器包含25～200W風冷激連續光器和100～400W水冷連續激光器，最大調制頻次為100kHz，輸入功率不亂性為±0.5％。
激光切割晶圓
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