近日，廣東省工業超短脈沖激光技術企業重點實驗室在廣東省科技廳組織的2022年考核評估過程中獲得“良好”評級，將再次得到資助。
廣東省工業超短脈沖激光技術企業重點實驗室于2018年9月獲批成立，依托大族激光科技產業集團股份有限公司(簡稱大族激光)聯合暨南大學、華南師范大學進行建設管理，地址位于深圳市寶安區大族激光全球智造中心，面積超過6000平方米。
實驗室由大族激光首席技術官呂啟濤博士擔任主任，專家委員會由3位院士與7位專家教授組成，專職研發人員超過40人。
實驗室圍繞工業超短脈沖激光核心器件的技術突破、超短脈沖激光與物質的相互作用工藝、基于自主研發超短脈沖激光器的激光裝備等方向開展前沿技術研究與工業應用開發。實驗室的建設瞄準國際超短脈沖激光一流技術，面向精密制造經濟主戰場、彌補科研院校在工程化及應用方面的短板，在高端制造技術領域破解美西方對核心技術的限制。
依托實驗室建設，在超快激光晶體、工業級超快激光器智能控制系統等關鍵自研器件，光纖皮秒種子源等自制核心模塊，百瓦級工業全固態紅外皮秒激光器、高功率固體紫外皮秒激光器、高功率紅外飛秒激光器等超短脈沖激光器方面成果豐碩。
實驗室開發的超短脈沖激光種子源，平均功率>50mW，光譜寬度<0.5nm，脈沖寬度<10ps，具有超高穩定性。暨南大學團隊針對全固態超短脈沖激光器晶體展開研究，并取得突破性進展，團隊利用提拉法自主制備的高品質Yb：晶體，其發射光譜遠寬于商用Yb：YAG晶體，同時其導熱性能優于常用超快激光晶體Yb：實現寬光譜發射和高導熱性能兼顧，成功應用于激光鎖模系統中。目前已經實現32fs(328mW)、38fs(763mW)、51fs(1720mW)和72fs(2070mW)超短脈沖激光輸出。
大族激光團隊研制的5-50W全光纖超快激光器、10-100W光纖+固體放大超快激光器性能優異，均已實現量產。高功率碟片超快激光器實現50-200W的激光輸出。團隊開發的紅外皮秒激光器實現300瓦功率輸出。攻克了制造工藝和工程技術難題，將紫外波長轉化效率提高到35%以上，非線性晶體單點壽命突破10000小時，355nm紫外激光最大激光輸出功率達105W(8 ps)。經過專家技術鑒定，該紫外皮秒激光器及裝備“整體達到國際先進，部分國際領先水平”。市場表現上，5W-100W工業級皮秒激光器已經實現進口替代、累計銷售額超過12億元。
暨南大學團隊自主生長的5.65 at.% Yb：激光晶體
實驗室面向產業應用需求，立足前沿技術，實現從實驗室到市場應用的一站式服務。針對超短脈沖激光與物質的相互作用機理，華南師范大學團隊系統開展了飛秒激光對不銹鋼等金屬材料燒蝕特性研究，實現鈦合金表面超親水性能的微納結構構建。相關技術在實驗室的“產學研用”體系下得到市場驗證。大族激光團隊面向5G通訊、晶圓加工、醫療器械、3C電子等行業應用，對超短脈沖激光對玻璃、陶瓷、藍寶石等硬脆性材料的加工工藝進行了重點研究，以超短脈沖激光“更快的刀、更準的尺”為抓手，開發出超快激光玻璃切割機、紫外皮秒晶圓切割機、高精度大幅面綠光皮秒激光微加工系統、全自動多頭分光高精度藍寶石鍍層超快激光去除系統、多脈寬合束激光多層脆硬材料標記系統等多套激光加工裝備，實現規模化生產。
依托實驗室建設，團隊獲得“廣東省科技進步獎一等獎”2項、“廣東省科技進步二等獎”1項、中國光學學會“中國光學科技獎一等獎”2項、中國有色金屬學會“工業科學技術二等獎”1項，申請(授權)各類專利超過20項。團隊牽頭(參與)承擔國家級研發計劃2項、省重點領域研發計劃項目2項、市級技術攻關重點項目等3項、參與制定團體標準1項。
本實驗室的建設推動了相關行業的技術革新，并帶動上下游產業發展。實驗室將繼續秉承“基礎器件技術領先，行業裝備深耕應用”的發展戰略，強化基礎研究、突破核心技術，為廣東省高端裝備制造業轉型升級助力，促進經濟高質量發展，推動中國新型工業化建設，為實現制造強國戰略貢獻力量。
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