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 2月23日—27日，第39屆先進(jìn)光刻技術(shù)會(huì)議（SPIE Advanced Lithography 2014）在美國(guó)加州圣荷西會(huì)展中心成功召開(kāi)。大會(huì)由美國(guó)國(guó)際光電學(xué)工程協(xié)會(huì)（SPIE）主辦，會(huì)議期間，定向自組裝技術(shù)（DSA）、納米壓印技術(shù)、3D縮放工藝、 極紫外光刻技術(shù)（EUV）等方向的研究現(xiàn)狀及進(jìn)展再次成為研究領(lǐng)域的熱門(mén)話題。 

      本屆展會(huì)內(nèi)容主要包括技術(shù)會(huì)議、行業(yè)研討、專業(yè)課程及的展覽會(huì)，共有包括研究人員、開(kāi)發(fā)商、供應(yīng)商、風(fēng)險(xiǎn)投資商、企業(yè)家在內(nèi)的2,360多名觀眾參展，比2013年增長(zhǎng)約6%。近幾年持續(xù)增長(zhǎng)的觀眾人數(shù)，也從側(cè)面反映了半導(dǎo)體行業(yè)良好的發(fā)展趨勢(shì)。

      此外，會(huì)議上還公布了三項(xiàng)SPIE光學(xué)大獎(jiǎng)及榮譽(yù)，由前任國(guó)際光學(xué)工程學(xué)會(huì)主席Bill Arnold 頒發(fā)。獎(jiǎng)項(xiàng)/榮譽(yù)及獲得者分別是：

      Frits Zernike獎(jiǎng) [縮微平版印刷（Microlithography）領(lǐng)域]
      獲得者：Mordy Rothschild
             麻省理工學(xué)院林肯實(shí)驗(yàn)室（MIT Lincoln Laboratory）
      獲獎(jiǎng)內(nèi)容：半導(dǎo)體光刻成像解決方案的開(kāi)發(fā)成果

      Harold E. Edgerton獎(jiǎng)
      獲得者：Martin Richardson
             美國(guó)中佛羅里達(dá)大學(xué)光學(xué)與光子學(xué)學(xué)院
            （CREOL, The College of Optics and Photonics, University of Central Florida）
      獲獎(jiǎng)內(nèi)容：高速物理現(xiàn)象領(lǐng)域的研究成果

      國(guó)際光學(xué)工程學(xué)會(huì)會(huì)士（SPIE Fellow）
      獲得者：Frank Abboud
             英特爾公司(Intel)

      據(jù)悉，2015年SPIE先進(jìn)光刻技術(shù)會(huì)議將于2月22日—26日在美國(guó)加州圣荷西會(huì)展中心舉行。屆時(shí)，將由來(lái)自ASML公司的Mircea Dusa博士擔(dān)任研討會(huì)共主席，聯(lián)合主席則由羅切斯特技術(shù)研究所的Bruce Smith教授擔(dān)任。所有會(huì)議論文經(jīng)批準(zhǔn)錄用后，將收錄至美國(guó)SPIE國(guó)際會(huì)議文集暨其數(shù)字圖書(shū)館中。