Surphase 3D表面測量儀是整合了光源、物鏡以及掃描臺的整體式3D表面測量儀. 其主要參數(shù)與MicroPhase類似, 是非常靈活和實惠的選擇。
特點：
♦ 經濟智能的成像解決方案
♦ 高分辨率數(shù)字顯微相機
♦ 處理速度快&高精度3D表面平整度分析
♦ 多成像處理
♦ 采取最先進的圖像處理和波陣面?zhèn)鞲?
♦ 采用微相技術作為最終的成像技術，降低高質量成像顯微鏡價格
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臺層高度測量 |
粗糙度&波紋測量 |
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3D表面形貌測量 |
表面輪廓測量 |
軟件功能：
三維分析&測量——3D表面形貌圖、表面輪廓圖、臺層高度測量、2D測量、粗糙度、波紋圖；數(shù)據(jù)采集&處理——自動標定、自動采集、自動處理、自動聚焦&曝光、范圍任選功能、導航功能；數(shù)據(jù)輸出&報告——項目報告歸檔與編輯、3D數(shù)據(jù)Excel格式輸出、3D數(shù)據(jù)第三方軟件輸出、HTML格式。
測量能力：
3D表面形貌 表面輪廓 粗糙度&波紋 臺層高度
應用范圍：
膜層 太陽能硅片 紙張 高分子材料 砂輪 橡膠 金屬 探針劃痕 焊點
主要參數(shù)：
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物鏡 |
5X |
10X |
20X |
50X |
100X |
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工作距離，mm |
23.5 |
17.5 |
4.5 |
1 |
1 |
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數(shù)值孔徑 |
0.15 |
0.3 |
0.45 |
0.8 |
0.9 |
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測量范圍(X,Y)，mm2 |
1.3 x 1.0 |
0.66 x 0.53 |
0.33 x 0.27 |
0.13 x 0.10 |
0.065 x 0.05 |
||||||||
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水平分辨率(X,Y)，μm |
2.8 |
1.4 |
0.9 |
0.5 |
0.4 |
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GetPhase(GP)/ GetPhase Extended(GPE) |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
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最大角度，degrees |
8 |
89 |
16 |
89 |
24 |
88 |
38 |
84 |
42 |
78 |
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垂直范圍(Z)，μm |
35 |
1000 |
9 |
250 |
4 |
62.5 |
1.1 |
10 |
0.8 |
2.5 |
|||
|
垂直分辨率(Z)，μm |
0.35 |
6.9 |
0.09 |
1.7 |
0.04 |
0.7 |
0.011 |
0.2 |
0.008 |
0.17 |
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測量采集點 |
1.3M (1280 x 1024 pixels) |
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測量時間，sec |
＜10 |
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粗糙度范圍Ra，μm |
＞0.01 to 3 |
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機械件接口 |
標準C視頻接口 |
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L x W x H，mm |
120 x 74 x 173 |
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重量，kg |
2.5 |
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