工作原理激光掃描顯微鏡的工作原理與掃描電子顯微鏡相似，它與電鏡不同之處是用激光束代替電子束工作。經(jīng)過聚焦的激光束射到樣品上，由樣品上的反射光形成圖像。在激光掃描顯微鏡中采用了自動聚焦裝置，它在樣品的每一個像素點上都進(jìn)行聚焦。每一個調(diào)焦值都由計算機(jī)貯存起來，全部調(diào)焦值即構(gòu)成了立體圖像的第三維圖像數(shù)據(jù)信息。由此可見激光掃描顯微鏡的最大特點就是能顯示出樣品真正的(非模擬)三維立體圖形，其圖像的三維尺度都可以用數(shù)值準(zhǔn)確的標(biāo)定。
自動聚焦原理現(xiàn)僅以線掃工作方式為例說明其原理。由激光源a產(chǎn)生的激光經(jīng)聚焦后形成激光束b,穿過半透鏡f再經(jīng)物鏡。聚焦后射到樣品d上，樣品反射光經(jīng)半透鏡反射到棱鏡g，經(jīng)過差分光電器和放大器h后再到控制器k和計算機(jī)1。當(dāng)差分光電器檢測出散焦時，通過計算機(jī)和控制器調(diào)整物鏡的距離使聚焦正常。當(dāng)樣品臺沿水平方向掃描時，計算機(jī)將貯存f每一點的調(diào)焦值，最后在顯示器上構(gòu)成二維的線掃圖形。該圖形y軸分量表示了樣品的高度信息。
主要工作參數(shù)工作距離:1~45mm;測量范圍:0. 005~lmm;最高垂直分辨率:lnm。
特點及應(yīng)用真實的三維圖形顯示，樣品制備簡單、大氣環(huán)境測試觀察、圖像貯存和處理方便、結(jié)構(gòu)簡單、故障率小、維護(hù)方便。激光掃描顯微鏡可用于樣品的微觀形貌觀察，表面結(jié)構(gòu)和粗糙度測量、振動和形變的觀察。它可廣泛用于材料涂層、微器件、薄膜、集成電路等方面的觀察與測量分析。
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