氦-氖激光器是最早出現也是最為常見的氣體激光器之一。它于1961年由在美國貝爾實驗室從事研究工作的伊朗籍學者佳萬(Javan)博士及其同事們發明，工作物質為氦、氖兩種氣體按一定比例的混合物。根據工作條件的不同，可以輸出5種不同波長的激光，而最常用的則是波長為632.8納米的紅光。輸出功率在0.5～100毫瓦之間，具有非常好的光束質量。氦-氖激光器是當前應用最為廣泛的激光器之一，可用于外科醫療、激光美容、建筑測量、準直指示、照排印刷、激光陀螺等。
與發明二氧化碳激光器同年，發明了幾種惰性氣體離子激光器，其中最常見的是氬離子激光器。它以離子態的氬為工作物質，大多數器件以連續方式工作，但也有少量脈沖運轉。氬離子激光器可以有35條以上譜線，其中25條是波長在408.9～686.1納米范圍的可見光，10條以上是 275～363.8納米范圍的紫外輻射，并以488.0納米和514.5納米的兩條譜線為最強，連續輸出功率可達100瓦。氬離子激光器的主要應用領域包括眼疾治療、血細胞計數、平版印刷及作為染料激光器的泵浦源。
另一種常見的金屬蒸氣激光器是1966年發明的銅蒸氣激光器。一般通過電子碰撞激勵，兩條主要的工作譜線是波長510.5納米的綠光和 578.2納米的黃光，典型脈沖寬度10～50納秒，重復頻率可達100千赫。當前水平一個脈沖的能量為1毫焦左右。這就是說，平均功率可達100瓦，而峰值功率則高達100千瓦。
比氦-氖激光器晚3年由帕特爾(Patel)發明的二氧化碳激光器是一種能量轉換效率較高和輸出最強的氣體激光器。目前準連續輸出已有400千瓦的報道，微秒級脈沖的能量則達到10千焦，經適當聚焦，可以產生1013瓦／米2的功率密度。這些特性使二氧化碳激光器在眾多領域得到廣泛應用。工業上用于多種材料的加工，包括打孔、切割、焊接、退火、熔合、改性、涂覆等；醫學上用于各種外科手術；軍事上用于激光測距、激光雷達，乃至定向能武器。
1968年發明的氦-鎘激光器以鎘金屬蒸氣為發光物質，主要有兩條連續譜線，即波長為325.0納米的紫外輻射和441.6納米的藍光，典型輸出功率分別為1～25毫瓦和1～100毫瓦。主要應用領域包括活字印刷、血細胞計數、集成電路芯片檢驗及激光誘導熒光實驗等。
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