1引言
自1973年第一臺射頻（RF）波導激光器問世至今已26年多。最初是將線圈繞在波導上，實現(xiàn)了RF激勵波導激光器的發(fā)光。它首次顯示了低電壓激勵的優(yōu)越性。那時，還有許多不完善的地方。存在的主要缺點是：放電不均勻，耦合效率差、線圈電感太大，限制RF頻率的提高，只能在幾MHz以下工作等。
盡管已有26年多的研制、使用歷史，但當前它仍處于發(fā)展與改進階段。其總的研制方向是：降低成本、增長壽命、提高輸出功率和效率、減小體積和質量，改進可靠性，提高各項性能指標，以適應各種用途的需要。
RFCO2激光器工作頻率按ISM規(guī)定為27～40MHz；其主要分類如下所述：
（1）按輸出方式分
1）連續(xù)輸出；
2）脈沖輸出——調制頻率高達1MHz；
3）Q開關輸出——電光調Q與聲光調Q。
（2）按諧振腔的工作分
1）波導腔——孔徑D=1～3mm；
2）自由空間腔——孔徑D=4～6mm。
（3）按激勵極性分
1）單相；
2）反相。
（4）按腔體結構分
1）單腔；
2）多腔；
（a）折疊腔：V型——2折；Z型——3折；X型——4折。
（b）列陣腔：短肩列陣；交錯列陣。
（c）積木式：并聯(lián)—2腔；三角組聯(lián)—3腔。
3）大面積放電
（a）平板型，（b）同心環(huán)型。
（5）按均恒電感分布方式分
1）準電感諧振技術—用于低電容激光頭；
2）平行分布電感諧振技術—用于高電容激光
頭。
（6）按諧振腔材料分
1）陶瓷—金屬混合型；2）全陶瓷型；3）全金屬型。
（7）按冷卻方式分
1）空氣冷卻；2）水冷卻。
（8）按封裝方式分
1）封離型；2）流動型。
諧振腔的材料一般為：金屬—A1。陶瓷—BeO，BN、AIN、Al2O3等。
2技術條件
用于CO2激光器的典型工作氣體內含有：二氧化碳、氮、氦和氙。氮氣和氦氣有利于放電的均勻性。氙氣對RF放電激光器的功率和效率具有積極影響。添加5％氙氣可使功率提高24％。
通常單模結構器件，單位長度注入的連續(xù)（射頻）激勵功率限于2～6W/cm，轉換效率為10％～20％，對激光電源的一般要求為：穩(wěn)定可靠、維修方便、效率高、尺寸小、成本低。
具體技術條件如下：
輸入?yún)?shù)：交流輸入電壓220V；交流輸入電流1.5A；開關電源輸出直流電壓30V；開關電源輸出電流8A。
RF電源：輸入功率160W；工作頻率40MHz；輸出波形正弦波；帶寬△f±3MHz；效率70％。
調制器：脈沖調制頻率0～100kHz方波連續(xù)可調；占空比連續(xù)可調；幅度調制度100％。
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