1、整機部分檢查
1)電源
檢查進線電源的電壓波動應在±10%范圍內，同時檢查高次諧波的嚴重情況、功率因素的大小以及是否需安裝穩壓電源等。
2)電極絲
電極絲的質量、安裝、保存等因素直接關系到加工后工件質量的好壞。加工較厚工件時應選用較粗的電極絲，有利于排屑且可提高其張力；檢查電極絲安裝過松或過緊時，都容易造成斷絲；檢查電極絲安裝的位置若偏離中心位置或不在同一平面內，極易被卡斷或夾斷；檢查電極絲的保存應該規范，受潮、氧化、暴曬后會導致電極絲變脆。
3)控制柜
控制柜應注意防塵防潮。積灰受潮時會造成電路板腐蝕以及短路或斷路現象，進而損壞電子元件等，甚至整張電路板報廢。
4)切割加工液
切割加工液的作用是幫助冷卻、洗滌、排屑，加工液的好壞直接關系到加工后工件質量的好壞。線切割加工液不應過黑，且不應有異味。否則，其綜合性能變差，易導致斷絲。
2、易損件檢查法
設備長期運行后，出現的故障大部分都是由于易損件的損壞而造成的。易損件主要有導輪、擋絲裝置、斷絲保護擋絲體、導電塊、緩沖墊、行程開關等。
1)行程開關
行程開關在頻繁的擠壓后，很容易損壞或接觸不良。當行程開關出現故障后，接觸器不能斷電，從而引起運絲電機不能換向。有的線切割機將行程開關另一對觸點作為斷高頻的控制信號。當行程開關接觸不良或損壞時，就會出現換向不能斷高頻現象。
2)導電塊
導導電塊極易損壞，若被割成深凹槽或表面氧化等，都會導致導電塊與鉬絲接觸不良。當接觸不良時，可能會導致高頻脈沖電流很小，甚至沒有高頻脈沖電流輸出。
3)導輪
導輪位置不對，無法加工出合格工件；導輪不轉，表面磨損加劇，導輪表面很快就會被電極絲割成凹槽。若凹槽較淺，當電極絲有較大的抖動時，會使電極絲局部過分靠近工件，從而使放電電流過大或因拉弧而燒斷電極絲，同時切割面表面質量變差；若凹槽較深，高速運動的電極絲在輕微的抖動下，就會被凹槽兩壁夾斷。
4)擋絲裝置
擋絲裝置主要是用于定位鉬絲。檢查時一定要注意擋絲裝置中的排絲柱是否貼近電極絲，排絲柱是否被割成凹槽。
5)緩沖墊
緩沖墊在換向時起緩沖作用。檢查時要傾聽走絲機構發生的聲音，尤其是換向時的聲音。如聲音異常，伴隨振動很大，一般來說，就是緩沖墊已損壞。
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