30W納秒紫外激光器
Marble UV-30
產品背景
隨著激光精細微加工技術在高精尖元器件制造領域的廣泛應用，工業產品向微型化、精密化、高性能化方向發展，半導體、消費電子、生物醫學等尖端科技領域對于激光加工精度、加工效率、熱影響區域控制等方面提出了更高要求。
在此背景下，貝林激光推出新品30W納秒紫外激光器（Marble UV-30）。新款采用先進的諧振腔設計及腔內熱補償技術，可實現穩定的紫外激光輸出。此外，其高精度、高效率、高穩定、高靈活的“四高”特點，使其成為微納加工領域的又一利器，助力優化激光精準加工方案。
PART 01 - 產品優勢
Product Superiority
高精度加工
優秀的光束質量
Marble UV-30的光束質量M2<1.3，確保加工過程的高精度。
頻率60kHz，在距出光口300mm位置實測光斑圓度為98.73%。
在精密加工時，如微電子、半導體等領域，可獲得更為準確和精細的切割、打孔或蝕刻效果。
短脈沖寬度
激光脈沖寬度小于25ns@60kHz，激光能量在短時間內集中，實現高精度微加工。
頻率60kHz，實測輸出脈沖寬度為12.51 ns。
高效率加工
高功率輸出
Marble UV-30具備高達30W@60kHz的輸出功率，為各種加工應用提供穩定高效的激光能量，縮短加工過程，顯著提高生產效率。
輸出功率及脈寬隨著頻率變化的表現
高效能量轉換
Marble UV-30采用高效的諧波轉換技術，提高了激光能量的轉換效率，降低能耗和運營成本。
高穩定性
先進的諧振腔設計和腔內熱補償技術
使得Marble UV-30在高功率運轉下依然能夠保持穩定輸出，保證加工過程的連續性和一致性。
24h功率穩定性測試，頻率60kHz，實測功率波動RMS小于0.5%。
三倍頻晶體支持換點
獨特的倍頻及和頻模塊，配合特殊的晶體保護措施，同時三倍頻晶體支持換點功能，顯著延長晶體使用壽命，降低用戶維護成本。
高靈活性
多種控制方式
Marble UV-30支持RS232控制、外部GATE和TRIGGER控制等多種控制方式，為用戶提供了靈活的操作選擇。
直觀的操作界面
操作界面直觀易懂，用戶可以輕松上手，快速掌握設備的操作方法。
PART 02 - 技術參數
Technical Parameter
Marble UV-30 | |
波長 | 355nm |
功率 | 30W@60KHz |
單脈沖能量 | 500μJ@60kHz |
頻率 | 60~300kHz |
脈寬 | <25ns@60KHz |
光斑模式 | TEM00 (M2<1.3) |
光束直徑 | 0.8±0.2mm |
功率穩定性 | <3% RMS over 8 hours |
脈沖穩定性 | <3% RMS over 10 mins |
光點穩定性 | <50μrad |
光束發散角 | <2mrad (full angle) |
光斑圓度 | >90% |
控制方式 | RS232, Gate, Trigger |
制冷方式 | Water-cooling |
偏振方向 | Horizontal |
偏振比 | >100:1 |
環境溫度 | 15°C ~ 35°C |
預熱時間 | <30 mins |
工作電壓 | 90V ~ 260V |
PART 03 - 應用案例
銅箔材料切割
PC材料切割
皮革材料切割
PCB材料切割
FPC材料打標
硅膠材料打標
二維碼標記
塑料材料打黑
激光技術的發展歷程是一個不斷追求更高精度、更高效率和更廣應用范圍的過程。貝林激光在超快激光技術領域將持續創新和突破，積極推動加工產業轉型升級。
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