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中國長城推出我國首臺半導體激光隱形晶圓切割機

來源:證券時報2020-05-18 我要評論(0 )   

中國長城官微顯示,我國首臺半導體激光隱形晶圓切割機于近日研制成功,填補國內空白,在關鍵性能參數上處于國際領先。我國半導體激光隱形晶圓切割技術取得實質性重大突...

中國長城官微顯示,我國首臺半導體激光隱形晶圓切割機于近日研制成功,填補國內空白,在關鍵性能參數上處于國際領先。我國半導體激光隱形晶圓切割技術取得實質性重大突破,相關裝備依賴進口的局面將打破。晶圓切割是半導體封測工藝中不可或缺的關鍵工序。中國長城副總裁、鄭州軌交院院長劉振宇稱,激光切割屬于非接觸式加工,可避免對晶體硅表面造成損傷,具有加工精度高、加工效率高特點,可大幅提升芯片生產的質量、效率、效益。

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激光隱形切割晶圓
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